【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜设备中的真空隔开技术，具体是一种镀膜真空室的转板阀结构。
技术介绍
PVD(物理气相沉积)技术，即在真空中对靶材进行蒸发、溅射，使靶材(陶瓷、合金等)上的分子附着并沉积在沉底(玻璃、有机物、金属等)上的方法。需要在本底真空度达到高真空(10-1-10-6Pa)的条件下进行。对于目前卧式连续溅射镀膜设备，真空室之间采用独立门阀隔开，必需能够将各真空室有效隔断，起到稳定工艺气体、保持真空度的作用。随着光伏太阳能行业的发展，TCO基板的尺寸也越来越大，例如1100*1400*3.2mm等。在TCO薄膜的镀制过程中还需要对基板进行加热，以及多种工艺气体(Ar、O2、H2等)的加入。这就对目前的转板阀系统提出了挑战。目前国内转板阀传动复杂，材料采用不锈钢硬连接，旋转角度误差大，密封效果差，更换零件所需时间较长。
技术实现思路
针对上述问题，本技术旨在提供一种成本低可提高真空腔体的密封性，并容易拆卸、维修的转板阀结构。为实现该技术目的，本技术的方案是：一种镀膜真空室的转板阀结构，包括门阀板，所述门阀板固定在一组由压簧和压板组成的门阀压座上；所述门阀压座上固定安装在一主轴上，该主轴通过联轴器连接于由气缸传动的气缸拨叉。为便于更稳定的传动，所述联轴器配备有相应的轴承座。本方案结构紧凑，传动灵活，门阀转动无死角，同时因采用压簧而使其传动更加平稳；密封效果好。本方案可在节约成本的前提下，提高真空腔体的密封性，并容易拆卸、维修。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术做进一步详细说明。如图1所示，本技术的一种镀膜真空室的转板阀结构，...
【技术保护点】
一种镀膜真空室的转板阀结构，包括门阀板，其特征在于：所述门阀板（５）固定在一组由压簧（７）和压板（６）组成的门阀压座上；所述门阀压座上固定安装在一主轴（４）上，该主轴通过联轴器（３）连接于由气缸传动的气缸拨叉（１）。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜真空室的转板阀结构，包括门阀板，其特征在于：所述门阀板(5)固定在一组由压簧(7)和压板(6)组成的门阀压座上；所述门阀压座上固定安装在一主...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄启耀，姜翠宁，闫都伦，唐贵民，王克斌，
申请(专利权)人：深圳中南光电技术装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
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