掩膜传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种掩膜传输装置，包括腔体、传输机构、承载篮子、升降机构、控制机构及抽真空机构。腔体开设有工作腔、第一输送口和第二输送口。传输机构的传输件收容于工作腔内，且其后端与第二输送口对接。承载篮子包括呈中空结构的承载框体，承载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组，相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽，且承载框体的后端开设有传输口。升降机构驱动承载篮子沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区，传输对接区与传输件对接。控制机构控制升降机构驱动承载篮子的存储槽逐一与传输件的前端对接。抽真空机构为腔体的工作腔提供真空环境。本实用新型专利技术掩膜传输装置能提高掩膜传输和存储的连贯性以提高生产效率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种掩膜传输装置，尤其涉及一种能提高半导体行业生产线上的掩膜传输连贯性以及与外界模块的连贯性的掩膜传输装置。
技术介绍
随着社会的不断进步，经济的不断发展，以及科学技术的不断提高，使企业对流水 线作业中的各设备之间的工作连贯性提出新的要求。这是由于各设备间的工作连贯性在很 大程度上影响到流水线作业的生产效率和成本。相应地，在半导体行业的掩膜生产系统中， 也遇到相同类型的问题，因此，如何提高各设备间的工作连贯性已成为企业急需解决的问题之一。目前，现有的用于对掩膜进行传输的传输装置的工作流程如下先是传输装置将 生产线上的掩膜以滚动传输方式被输送到掩膜承载设备的附近。当输送到掩膜承载设备附 近后，此时的传输装置的机械手作动，将输送来的掩膜拾取并存储于掩膜承载设备内，从而 完成一个掩膜的一个存储流程，当要存储下一个掩膜时，重复上述的流程即可实现，直接掩 膜承载设备被存满为止。然而，上述的用于传输掩膜的传输装置在掩膜由生产线传输到掩膜承载设备内， 此过程会涉及到传输装置的两种不同的传输方式，第一种是以滚动传输方式把生产线上的 掩膜往掩膜承载设备附近输送，第二种是以机械手传输方式把掩膜承载设备附近的掩膜进 行分层地存储于掩膜承载设备内，这一方面使得现有的传输装置在掩膜的输送和存储过程 的连贯性极差，从而降低了对掩膜的处理效率，因而增加了处理成本；另一方面，由于现有 的传输装置存在两种不同的传输方式，故增加了现有的传输装置的设计难度。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种掩膜传输装置，该掩膜传输装置一方面能最大限 度地提高掩膜传输和存储的连贯性，从而提高了掩膜的处理效率，因而降低掩膜的处理成 本；另一方面能克服现有的传输装置因存在两种不同的传输方式而造成设计难度加大的问 题，使本技术掩膜传输装置的设计更易。为实现上述目的，本技术提供了一种掩膜传输装置，适用于对半导体生产线 上的掩膜进行传输，其包括腔体、传输机构、承载篮子、升降机构、控制机构及抽真空机构。 所述腔体呈中空结构，所述中空结构形成密封的工作腔，所述腔体的前端开设有第一输送 口，所述腔体的后端开设有第二输送口。所述传输机构包括传输件及传输驱动器，所述传输 件沿水平方向设置于所述工作腔内并与所述传输驱动器连接，所述传输件的后端与所述腔 体的第二输送口对接。所述承载篮子包括呈中空结构的承载框体，所述承载框体内相对的 两侧壁上分别设置有至少两个支撑组，所述支撑组呈等间距的平行分布，所述支撑组由沿 同一水平面设置的若干支撑件组成，相邻的支撑组之间形成呈水平的存储槽，每个掩膜插 放于一个存储槽内，所述承载框体的后端开设有传输口。所述升降机构包括升降驱动器及升降承载架，所述升降驱动器安装于所述腔体外，所述升降驱动器的输出轴呈密封地穿入 所述工作腔内并与所述升降承载架连接，所述承载篮子承载于所述升降承载架上，所述升 降驱动器驱动所述承载篮子在所述工作腔内做竖直方向的往返运动，所述承载篮子的往返 运动使所述传输口在所述腔体内形成传输对接区，所述传输件的前端与所述传输对接区对 接，所述承载篮子的前端朝向所述第一输送口。所述控制机构包括控制处理器及第一传感 器，所述第一传感器安装于所述腔体上且正对所述传输件的前端，所述第一传感器与所述 控制处理器电连接，所述控制处理器与所述升降驱动器电连接，所述第一传感器检测到所 述传输件的前端具有掩膜并发送信号给控制处理器，所述控制处理器控制所述升降驱动器 驱动所述承载篮子的存储槽逐一与所述传输件的前端对接。所述抽真空机构与所述腔体连 接并为所述工作腔提供真空环境。较佳地，所述传输机构还包括传送件，所述传送件沿水平方向收容于所述承载篮子的承载框体内并与所述传输驱动器连接，所述传送件的前端与所述第一输送口对接，所 述传送件的后端与所述传输件的前端对接，所述控制机构控制所述升降驱动器驱动所述承 载篮子沿垂直于所述传送件方向做往返的运动。通过上述的传送件，把存储于承载篮子内 的掩膜往传输件处输送，实现承载篮子与传输机构的掩膜的往返输送，因而提高了传输机 构和承载篮子之间的连贯性。具体地，所述控制机构还包括与控制处理器电连接的第二传 感器、第三传感器及止动驱动器，所述第二传感器设置于所述腔体上并与所述传送件的后 端正对，所述第三传感器设置于所述腔体上并与所述传送件的前端正对，所述止动驱动器 安装于所述腔体外，且所述止动驱动器的止动轴呈密封地伸入所述工作腔内并与传送件和 传输件的对接处正对，所述止动驱动器驱动止动轴阻挡或释放于传送件和传输件之间输送 的掩膜。通过上述的第二传感器，用于感应传送件的后端是否具有掩膜，并将信号反馈于控 制处理器；通过上述的第三传感器，用于感应掩膜在承载篮子的存储是否到位，并将信号反 馈于控制处理器；通过上述的止动驱动器去执行控制处理器的命令，并阻挡传送件和传输 件之间输送的掩膜，从而为承载篮子的存储槽逐一与传输件的前端对接提供极其优越的条 件。同时也为承载篮子的存储槽逐一与外界的存储设备对接提供优越的条件。更具体地， 所述传送件包括传送轮、安装轴及安装支架，所述安装支架与所述腔体连接，所述安装轴与 所述安装支架枢接，所述传送轮安装在所述安装轴上，所述承载框体的支撑组沿竖直方向 开设有供所述承载篮子沿所述传送轮做竖直方向往返运动的导向槽。通过由上述的传送 轮、安装轴及安装支架组成的传送件，使得传送件的结构简单，且安装方便。通过上述的导 向槽，使得承载篮子能相对于传送轮作竖直方向的移动，从而实现承载篮子内的掩膜的分 层存储。较佳地，所述腔体上还设置有对所述第一输送口密封的第一间门、对所述第二输 送口进行密封的第二闸阀。通过上述的第一闸门和第二闸阀，保证腔体能处于真空中工作。 具体地，所述第一间门的对所述第一输送口进行密封的表面由内至外开设有呈平行排列的 第一凹槽及第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽上均设有密封件。通过上述的第一凹槽、第 二凹槽和密封件，使第一间门具有双封闭结构，从而为腔体提供极其优越的气密性能。较佳地，所述抽真空机构包括气管、真空计、第三闸阀、第四闸阀、充气装置及真空 产生器，所述气管的一端依次连接有所述真空计和腔体，所述气管的另一端分别与第三闸 阀和第四闸阀的一端连接，所述第三闸阀的另一端通过所述气管与所述真空产生器连接，所述第四间阀的另一端通过所述气管分别与所述充气装置和真空产生器连接。通过由上述 的气管、真空计、第三闸阀、第四闸阀、充气装置及真空产生器组成的抽真空机构，为腔体内 创造真空环境，确保掩膜和腔体的洁净度。较佳地，所述升降承载 架包括两侧板、导向块、限位辊子、固定件及与所述升降驱 动器的输出轴连接的底板，两所述侧板分别对称地固定连接于所述底板的两侧，所述限位 辊子固定连接于所述底板的后端，所述导向块固定连接于所述底板的前端，所述导向块的 两侧相互平行且开设有滚动滑动槽，所述固定件的下端两侧枢接有滑动辊子，所述固定件 的上端两侧枢接有止动辊子，所述滑动辊子滑动地的卡设于所述滚动滑动槽内，所述承载 篮子的前端开设有容置所述止动辊子的滑动固定槽，所述承载篮子的后端与所述限位辊子 抵触，所述承载篮子的前端与所述固定件抵触。通过由上述的底板、两侧板、导向块、限位辊本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜传输装置，适用于对半导体生产线上的掩膜进行传输，其特征在于，所述掩膜传输装置包括：腔体，所述腔体呈中空结构，所述中空结构形成密封的工作腔，所述腔体的前端开设有第一输送口，所述腔体的后端开设有第二输送口；传输机构，所述传输机构包括传输件及传输驱动器，所述传输件沿水平方向设置于所述工作腔内并与所述传输驱动器连接，所述传输件的后端与所述腔体的第二输送口对接；承载篮子，所述承载篮子包括呈中空结构的承载框体，所述承载框体内相对的两侧壁上分别设置有至少两个支撑组，所述支撑组呈等间距的平行分布，所述支撑组由沿同一水平面设置的若干支撑件组成，相邻的支撑组之间形成呈水平的存储槽，每个掩膜插放于一个存储槽内，所述承载框体的后端开设有传输口；升降机构，所述升降机构包括升降驱动器及升降承载架，所述升降驱动器安装于所述腔体外，所述升降驱动器的输出轴呈密封地穿入所述工作腔内并与所述升降承载架连接，所述承载篮子承载于所述升降承载架上，所述升降驱动器驱动所述承载篮子在所述工作腔内做竖直方向的往返运动，所述承载篮子的往返运动使所述传输口在所述腔体内形成传输对接区，所述传输件的前端与所述传输对接区对接，所述承载篮子的前端朝向所述第一输送口；控制机构，所述控制机构包括控制处理器及第一传感器，所述第一传感器安装于所述腔体上且正对所述传输件的前端，所述第一传感器与所述控制处理器电连接，所述控制处理器与所述升降驱动器电连接，所述第一传感器检测到所述传输件的前端具有掩膜并发送信号给所述控制处理器，所述控制处理器控制所述升降驱动器驱动所述承载篮子的存储槽逐一与所述传输件的前端对接；以及抽真空机构，所述抽真空机构与所述腔体连接并为所述工作腔提供真空环境。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，郭业祥，刘惠森，范继良，王勇，王曼媛，张华，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]