具有便携式储存器的系统及其方法技术方案

一种具有便携式储存器的系统及方法，该系统包括一输送器。一半导体工艺工具包括一升降机用端口且被定位接近于输送器，如此使得升降机用端口可设计对输送器与升降机用端口之间的一晶片传送盒的运输。一上游储存器与一下游储存器均并置于输送器与半导体工艺工具，上、下游储存器分别具有一单独储存空间与一单独机器人装置，单独储存空间提供晶片传送盒的使用，单独机器人装置设计用以在其单独储存空间与输送器之间进行晶片传送盒的运输，上游储存器设计用以接收来自于一置顶运输系统的晶片传送盒且将晶片传送盒传递至输送器，下游储存器设计用以接收来自于输送器的晶片传送盒且将晶片传送盒传递至置顶运输系统。本发明专利技术可避免现有技术的时间延迟。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种自动化物料搬运系统，可提供半导体制造厂的使用。
技术介绍
多数的半导体集成电路制造厂(晶片厂)均具有高度的自动化。 一 自动化物料搬运系统(AMHS)用以进行各种工艺工具之间的半导体晶片的移动作业。 一般而言，晶片是经由晶片传送盒而输送通过晶片厂，于晶片握持装置中可对数量高达25片的直径300mm的晶片进行握持。 晶片传送盒为一种特制机壳，此晶片传送盒设计用于安全地将多个半导体晶片握持于一控制环境之中，并且通过配置有适当载端口的工具及多个机器搬运系统可对晶片传送盒的晶片进行移除，如此以对晶片进行处理或测量。位于晶片传送盒中的多个销结构可对晶片进行适当的握持，并且多个机器搬运系统可经由一前端开启门而直接对晶片传送盒中的晶片进行存取。 一晶片传送盒可位于一载端口之上，并且通过一自动化物料搬运系统可对晶片传送盒进行操控。 自动化物料搬运系统用运输车辆可进行相当长距离的运行，如此可对多个工具之间的晶片传送盒进行搬运。这些工具用于进行执行不同的工艺，并且这些工具可位于相同建筑物的不同部分或是位于不同建筑物之中。 图1为一系统100的一图形。系统100包括了多个制造设备(工具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种系统，包括：一输送器；一半导体工艺工具，包括一升降机用端口，该半导体工艺工具定位接近于该输送器，如此使得该升降机用端口可设计用以接收一晶片传送盒且对该晶片传送盒进行运输，该晶片传送盒适用于储存来自于该输送器的一晶片；以及至少一储存器，并置于该输送器与该半导体工艺工具，该至少一储存器包括一储存空间与一机器人装置，该储存空间提供该晶片传送盒所使用，该机器人装置设计用以在该储存空间与该输送器之间进行该晶片传送盒的运输。

【技术特征摘要】
US 2008-12-8 12/329,664一种系统，包括一输送器；一半导体工艺工具，包括一升降机用端口，该半导体工艺工具定位接近于该输送器，如此使得该升降机用端口可设计用以接收一晶片传送盒且对该晶片传送盒进行运输，该晶片传送盒适用于储存来自于该输送器的一晶片；以及至少一储存器，并置于该输送器与该半导体工艺工具，该至少一储存器包括一储存空间与一机器人装置，该储存空间提供该晶片传送盒所使用，该机器人装置设计用以在该储存空间与该输送器之间进行该晶片传送盒的运输。2. 如权利要求1所述的系统，其中，该至少一储存器为便携式的，并且该至少一储存器包括一调准机构与一置顶输送器，该调准机构相对该输送器而对该至少一储存器进行定位。3. 如权利要求2所述的系统，其中，该调准机构包括至少一调准构件，该至少一调准构件安装于该至少一储存器的一底部。4. 如权利要求3所述的系统，其中，该调准机构还包括至少一固定构件，该至少一固定构件适用于结合该至少一调准构件，并且至少一固定构件安装于该至少一储存器所设置的一表面之上，如此便可在利用结合于该至少一固定构件的该至少一调准构件对该至少一储存器进行定位之下，利用该至少一储存器的所定位的该机器人装置对该至少一储存器进行定位下而将该晶片传送盒运输至该储存空间与该输送器之间、该储存空间与该置顶输送器之间。5. 如权利要求1所述的系统，其中，该至少一储存器包括具有多个储存空间的一单一垂直柱，所述多个储存空间用以储存多个晶片传送盒，并且该机器人装置可于所述多个储存空间之间移动。6. 如权利要求5所述的系统，其中，该至少一储存器还包括一第一连接端口 ，可用以作为一输入端口 ，该第一连接端口用以接收来自于一置顶运输系统的一第一晶片传送盒；以及一第二连接端口 ，可用以作为一储存缓冲器，当该第一晶片传送盒被接收时，该第二连接端口对一第二晶片传送盒进行暂时性储存，并且在一单次停留期间通过该置顶运输系统使得该第一连接端口被该至少一储存器所接收之后且于该第一连接端口接收该第一晶片传送盒的期间，该第二连接端口用以传递该第二晶片传送盒至该置顶运输系统；以及该机器人装置可将该第一晶片传送盒自该第一连接端口而移动至所述多个储存空间的一第一储存空间，并且该机器人装置可将该第二晶片传送盒自该第二连接端口而移动至该等储存空间的一第二储存空间。7. 如权利要求1所述的系统，其中，该至少一储存器可反转且包括一上游储存器与一下游储存器，该上游储存器设计用以接收来自于一置顶运输系统的该晶片传送盒且将该晶片传送盒传递至该输送器，该下游储存器设计用以接收来自于该输送器的该晶片传送盒且将该晶片传送盒传递至该置顶运输系统，该下游储存器同样可接收来自于该置顶运输系统的该晶片传送盒且将该晶片传送盒传递至该输送器，以及该上游储存器同样可接收来自于该输送器的该晶片传送盒且将该晶片传送盒传递至该置顶运输系统。8. 如权利要求1所述的系统，其中该机器人装置设计用以将该晶片传送盒直接地自该至少一储存器的该储存空间而运 输至该输送器，或是该机器人装置设计用以将该晶片传送盒直接地自该输送器而运输至该 至少一储存器的该储存空间；以及该机器人装置设计用以将该晶片传送盒直接地自该至少一储存器的一置顶运输系统 用端口而运输至该至少一储存器的该储存空间，或是该机器...

【专利技术属性】
技术研发人员：王惟正，李凤宁，董启峰，高茂林，柯力仁，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]