一种瞬时相移横向剪切干涉仪制造技术

本实用新型专利技术涉及一种瞬时相移横向剪切干涉仪，以克服现有技术存在的操作麻烦、系统对环境的要求较高且环境对采集结果影响较大的问题。本实用新型专利技术提供的一种瞬时相移横向剪切干涉仪，包括在主光轴上依次同心设置的平行偏振分束器２、四分之一波片３、二维矩形光栅４、第一凸透镜５、空间滤波器６、第二凸透镜７、偏振片阵列８和ＣＣＤ９，ＣＣＤ９与计算机１相接，其中平行偏振分束器２晶体光轴方向与入射表面之间的夹角为４５°，四分之一波片３的快轴方向位于与平行偏振分束器２的晶体光轴方向和主光轴构成的平面成４５°角的平面上；空间滤波器６设置于第一凸透镜５的后焦平面和第二凸透镜７的前焦平面上。本实用新型专利技术操作简便、对系统对环境要求降低同时提高了测量精度。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学干涉测量仪器
，具体涉及一种相移横向剪切干涉 仪，特别涉及一种瞬时相移横向剪切干涉仪。技术背景横向剪切干涉法是通过一定的光机系统，将待测波前分为完全相同的两束待测 波前，形成的两束待测波前在空间上产生一定的位移。横向剪切技术的应用，避免了 在光学干涉中采用标准波前时所引入的系统误差。横向剪切干涉在一定程度上简化测量 系统的结构，降低测试系统中光学元件的精度要求，也在一定程度上提高系统的测量精 度。在横向剪切仪中引入相移技术形成相移横向剪切干涉仪可以进一步提高性能，可以 实现干涉图的处理过程的自动化和波前三维分布的重构性等。在现有的相移横向剪切干涉仪中，经常采用PZT改变干涉光之间的光程差，实 现测量系统的相移。但在相移的实现过程中，PZT需要一些机械运动来保证，且相移的 实现是按照一定的时间顺序进行的。由于相移过程是在时域实现的，测量结果必然受到 外界环境的影响。同时，由于形成干涉的两束光是通过分束棱镜或分光镜形分束，剪切 过程和相移过程分别在两束光中通过光机系统实现，因此，。分束后两束光通过的光学 元件的差异性将会在一定程度上影响系统的测量精度。现有技术给本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种瞬时相移横向剪切干涉仪，包括在主光轴上依次同心设置的平行偏振分束器（２）、四分之一波片（３）和ＣＣＤ（９），ＣＣＤ（９）与计算机（１）相接，其特征在于：还包括在主光轴上四分之一波片（３）和ＣＣＤ（９）之间依次同心设置的二维矩形光栅（４）、第一凸透镜（５）、空间滤波器（６）、第二凸透镜（７）、偏振片阵列（８），其中平行偏振分束器（２）晶体光轴方向与入射表面之间的夹角为４５°，四分之一波片（３）的快轴方向位于与平行偏振分束器（２）的晶体光轴方向和主光轴构成的平面成４５°角的平面上；空间滤波器（６）设置于第一凸透镜（５）的后焦平面和第二凸透镜（７）的前焦平面上，空间滤波器（６）上有４个按照矩形分...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：田爱玲，王红军，刘丙才，王春慧，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：实用新型
国别省市：87