An optical fiber type laser wavelength meter is composed of a lens, a fused silica optical fiber, an optical fiber coupler, a wavelength calibration device, a grating monochromator, a wavelength precision measuring device, a linear CCD, a signal processor and a data line. The invention adopts the fused silica optical fiber and optical fiber coupler splitting effectively reduces the size and complexity of the spatial wavelength meter; wavelength calibration, coarse and fine measurement can realize the effective combination of laser wavelength and spectral bandwidth and high precision time measurement. The invention can measure the linewidth and the central wavelength of the continuous laser and the pulsed laser accurately, rapidly and conveniently. Laser wavelength measurement, in particular excimer lasers.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及波长计，特别是一种光纤型激光波长计。
技术介绍
准分子激光因其波长短、相干性弱而被广泛用于极大规模集成电路光刻。作为光刻光源，要求激光输出具有窄线宽、高波长稳定性。激光器线宽压窄装置的振动和温度变化等因素可导致激光中心波长漂移，为了得到激光中心波长并判断其与目标波长之间的漂移量，并为激光中心波长调谐提供依据，因此需要对激光中心波长和线宽实时快速测量。测量激光波长常用的方法是利用费索干涉仪，参见在先技术。这种技术需要额外一种已知精确波长的激光作参考光源，然而波长校准装置本身的波长漂移将会降低波长计精度。另一方面，波长计各光学元件之间的激光传输采用空间耦合技术需要较多的光学元件，这样增加了光学调谐和对准的难度；采用光二极管监测透过Pt空心透明阴极灯的激光强度的方法标定吸收波长，该技术的缺点是激光能量的波动将严重降低波长校准的准确性；波长粗测装置中采用多个平面反射镜来扩束和准直激光光束，多次反射增加了能量损耗和装置复杂性，参见在先技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光纤型激光波长计，该波长计可精确、高速、便捷地测量激光线宽和中心波长。本专利技...
【技术保护点】
１．一种光纤型激光波长计，其特征在于该波长计由聚焦透镜（１）、第一熔融石英光纤（２）、第二熔融石英光纤（４）、第三熔融石英光纤（５）、第四熔融石英光纤（８）、第五熔融石英光纤（９）、第一光纤耦合器（３）、第二光纤耦合器（６）、波长校准装置（７）、光栅单色仪（１０）、波长精测装置（１１）、线性ＣＣＤ（１２）、信号处理器（１３）和数据线（２２）组成，上述各部分的位置关系如下：待测激光经聚焦透镜（１）耦合到第一熔融石英光纤（２）并传输到高分束比的第一光纤耦合器（３）进行分束，经该第一光纤耦合器（３）分出的较强光束经第二熔融石英光纤（４）传输到波长校准装置（７）进行波长校准；经第一...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：袁志军，张海波，周军，楼祺洪，董景星，魏运荣，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31
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