气体计测装置和气体计测装置的波长调制幅度的设定方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
气体计测装置和气体计测装置的波长调制幅度的设定方法
本专利技术涉及用于波长可调激光吸收光谱法和波长调制光谱法的气体计测装置、以及气体计测装置中激光的波长调制幅度的设定方法。
技术介绍
以往已知有用于波长可调激光吸收光谱法(TunableLaserAbsorptionSpectroscopy(TLAS))的气体计测装置。用于TLAS的激光器振荡波长和强度与驱动电流和温度对应的激光。通过使激光器振荡的激光透过计测对象气体、并检测透过激光，来对气体进行计测。例如，对包含于气体的测定对象成分的浓度进行测定。透过了计测对象气体的激光的强度与激光器振荡的激光的强度的比值为透过率T，透过率T为T=exp(-εcl)。这里，ε表示测定对象成分的摩尔吸收系数，c表示测定对象成分的浓度，l表示光路长。另外，已知摩尔吸收系数ε依存于计测对象气体的温度，吸收线形依存于温度、压力、以及共存在气体内的各成分的分压。如果已经知道摩尔吸收系数ε和吸收线形如何依存于温度、压力、共存于气体内的各成分的分压、以及光路长l，则通过实测透过率T可以判定测定对象成分的浓度。为了使用TLAS来计测气体，有时使...
【技术保护点】
一种气体计测装置(1，3)，其是用于对计测对象气体(30)进行计测的气体计测装置(1，3)，所述气体计测装置(1，3)的特征在于，具有：光源(2)，所述光源(2)一边使具有与主电流对应的中心波长的激光的所述中心波长变化一边振荡根据调制电流调制了的激光；检测部(14)，所述检测部(14)根据透过了基准试样的所述激光的强度输出检测信号(I1)；取得部(18)，所述取得部(18)从所述检测信号(I1)中取得以所述调制电流的频率的正整数倍的频率振动的特定频率成分；算出部(42)，所述算出部(42)计算出所述特定频率成分的极小值的大小与极大值的大小的比值；和设定部(44)，所述设定部...
【技术特征摘要】
2011.12.27 JP 2011-286765;2011.12.27 JP 2011-28681.一种气体计测装置(1，3)，其是用于对计测对象气体(30)进行计测的气体计测装置(1，3)，所述气体计测装置(1，3)的特征在于，具有：光源(2)，所述光源(2)一边使具有与主电流对应的中心波长的激光的所述中心波长变化一边振荡根据调制电流调制了的激光，所述主电流重叠了周期地重复倾斜状的增加和向基准水平的恢复的斜波电流；检测部(14)，所述检测部(14)根据透过了基准试样的所述激光的强度输出检测信号(I1)；取得部(18)，所述取得部(18)从所述检测信号(I1)中取得以所述调制电流的频率的正整数倍的频率振动的特定频率成分；算出部(42)，所述算出部(42)计算出所述特定频率成分的极小值的大小与极大值的大小的比值；和设定部(44)，所述设定部(44)设定所述激光的波长调制幅度，使得所述比值满足规定条件。2.如权利要求1所述的气体计测装置(1，3)，其特征在于，所述规定条件为与所述波长调制幅度一一对应的所述比值等于预先确定的目标值，所述设定部(44)通过使所述调制电流的强度变化来设定所述波长调制幅度。3.如权利要求2所述的气体计测装置(1，3)，其特征在于，所述目标值是以使所述基准试样的压力变化时的、所述特定频率成分的变动率为基准来确定的。4.如权利要求1至3中的任意一项所述的气体计测装置(1，3)，其特征在于，所述气体计测装置(3)还具有计数部(80)，所述计数部(80)对所述计测对象气体(30)的计测持续的时间、即持续时间进行计数，所述设定部(44)在所述持续时间达到规定时间以上时，设定所述波长调制幅度使得所述比值满足所述规定条件。5.如权利要求1所述的气体计测装置(1，3)，其特征在于，所述气体计测装置(1，3)还具有判定部(51)，所述判定部(51)基于规定所述计测对象气体(30)的状态的状态量与所述比值的预先确定的关系，根据所述比值判定所述状态量。6.如权利要求5所述的气体计测装置(1，3)，其特征在于，所述气体计测装置(1，3)还具有测定部(22)，所述测定部(22)对规定所述计测对象气体(30)的状态的一个或者多个能够测定的状态量进行测定，所述判定部(51)采用所述比值和被测定到的所述一个或者多个能够测定的状态量来判定所述状态量。7.如权利要求5或6所述的气体计测装置(1，3)，其特征在于，所述状态量与所述比值的所述预先确定的关系是将所述计测对象气体(30)置换为基准试...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。