【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种超声振动辅助磨削装置，具体涉及一种用于陶瓷类超硬微结构表面精密加工的超声振动辅助磨削装置。
技术介绍
超硬材料微结构表面的光学功能元件是制造微小型光电子系统的关键元件，具有质量轻以及使系统小型化等优点，并且能够实现普通光学元件难以达到的微小、阵列、集成和波面转换等新功能。超硬材料微结构表面光学功能元件通常采用复合加工技术制造，其中具有微结构表面的超硬材料模具的精密加工质量对最终的产品性能和成本控制起着决定性的作用，然而由于这些材料本身的极难加工性和模具表面的复杂微结构特征，导致在对超硬材料微结构表面进行传统加工时难以达到理想的效果，这极大限制了微结构表面光学功能元件的确定性、大批量、低成本生产及应用。目前，超声振动辅助磨削装置是在砂轮或工件上沿一定方向施加超声振动从而实现在固着磨粒与超声振动复合作用下的材料去除。超声振动辅助磨削装置不但可以有效提高磨削后的工件表面质量和材料去除率，降低加工亚表面损伤，还可以显著减少砂轮堵塞和磨削烧伤等不利现象，尤其适合陶瓷类超硬材料的精密加工。但是，现有的超声振动辅助磨削装置不能调整振动方向，导致加工超硬材料微...
【技术保护点】
１．一种用于微结构表面精密加工的超声振动辅助磨削装置，所述超声振动辅助磨削装置包括支撑底板（３）、振动工作台（４）、四个支撑件（５）、变幅杆（６）、换能器（７）和超声发生器（８），其特征在于：所述超声振动辅助磨削装置还包括倾斜台（１）和旋转台（２），所述旋转台（２）的下端面固装在倾斜台（１）的上端面上，所述支撑底板（３）固装在旋转台（２）的上端面上，所述振动工作台（４）通过四个支撑件（５）固装在支撑底板（３）的上方，所述变幅杆（６）的一端面积小，另一端面积大，变幅杆（６）的小面积端与振动工作台（４）的侧壁固接，变幅杆（６）的大面积端与换能器（７）固接，所述换能器（７）通过导...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵清亮，吴晓健，郭兵，赵玲玲，任仲平，王义龙，孙国燕，穆希鹏，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93
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