薄膜太阳电池用槽加工工具及其角度限制结构制造技术

本发明专利技术提供一种薄膜太阳电池用槽加工工具及其角度限制结构，在将槽加工工具安装于保持器时，能够通过简单的作业准确地调整角度。该薄膜太阳电池用槽加工工具(16)被保持于保持器(15)，并与保持器(15)一起在集成型薄膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动，从而形成沿一个方向延伸的槽，薄膜太阳电池用槽加工工具(16)具备由保持器(15)保持的工具主体(22)和刀锋部(24)。刀锋部(24)形成于工具主体(22)的前端部，并且在刀锋部(24)的前端具有槽加工用的刀锋(24f、24g)。并且，在工具主体(22)设有角度限制部，以便在工具主体(22)被保持器(15)保持的状态下将刀锋部(24)相对于槽形成方向固定成预定的姿势。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及槽加工工具，特别地，涉及由保持器保持、并与保持器一起在集成型薄 膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动从而形成沿一个方向延伸的槽的加工工具。此外，本 专利技术还涉及用于对该槽加工工具的安装角度进行限制的角度限制结构。
技术介绍
作为薄膜太阳电池，例如如专利文献1所示，提供了层叠多层薄膜而形成的集 成型薄膜太阳电池。在该专利文献1记载的集成型薄膜太阳电池中，在玻璃等的基板上 形成由钼膜构成的下部电极膜，然后将下部电极膜分割为长条状(短冊状)。接着，在 下部电极膜上形成化合物半导体膜，该化合物半导体膜包括CIGS (铜铟镓硒)膜等黄铜 矿(chalcopyrite)结构化合物半导体膜。接着，进一步，将这些半导体膜的一部分呈带 (stripe)状地除去从而将这些半导体膜分割为长条状，并且以覆盖这些半导体膜的方式形 成上部电极。接着，最后，将上部电极膜的一部分呈带状地除去来进行分割。如上所述地操作，从而形成由多个单元电池串联连接而成的集成型薄膜太阳电 池。此时，为了将膜的一部分呈带状地除去，使用槽加工工具和剥离工具。槽加工工具和剥 离工具经由保持器设置在加工机构的工作台上。并且，当本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种薄膜太阳电池用槽加工工具，该薄膜太阳电池用槽加工工具被保持于保持器，并与所述保持器一起在集成型薄膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动，从而形成沿所述一个方向延伸的槽，所述薄膜太阳电池用槽加工工具的特征在于，该薄膜太阳电池用槽加工工具具备：工具主体，该工具主体被保持于所述保持器；以及刀锋部，该刀锋部形成于所述工具主体的前端部，并且在该刀锋部的前端具有用于对所述槽进行加工的刀锋，在所述工具主体设有角度限制部，以便在所述工具主体被所述保持器保持的状态下将所述刀锋部相对于所述槽形成方向固定成预定的姿势。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾山正信，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP