【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉生产过程中使用的单晶炉 真空系统过滤器。
技术介绍
单晶炉真空系统过滤器设置在连接单晶炉与真空泵之间 的管路上，用来将单晶炉抽真空。现有的单晶炉真空系统过 滤器是由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在 过滤网架上并与支撑圈粘接的圆形过滤网布构成。这种结构 的过滤器过滤效果不好，易将单晶炉中的氧化物经过过滤网 布带入真空泵中，影响产品质量。
技术实现思路
本技术的目的是要解决现有技术存在的上述问题， 提供一种过滤效果好，可防止单晶炉中的氧化物进入真空泵 中的单晶炉真空系统过滤器。本技术是这样实现的它由过滤网架、焊接在过滤 网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过 滤网布构成，其特殊之处是所述的过滤网布沿支撑圈的圆 周方向呈波浪状布置。本技术的优点是由于过滤网布沿支撑圈的圆周方 向呈波浪状布置，可增大过滤面积，提高过滤效果，从而防 止单晶炉中的氧化物进入真空泵中，确保产品质量。附图说明图1是本技术的结构示意图； 图2是图1的左视图； 图3是图1的A-A剖视图。具体实施方式如图所示，该过滤器是由过滤网架3、焊接在过滤网架 3两端的支撑圈1、环绕在过滤网架3上并与支撑圈1粘接 的过滤网布2构成，所述的过滤网布3沿支撑圈1的圆周方 向呈波浪状布置。权利要求1、一种单晶炉真空系统过滤器，由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过滤网布构成，其特征是所述的过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置。专利摘要一种单晶炉真空系统过滤器，解决了现有的过滤器过滤效果不好，易将单晶炉中的氧化物经过过滤网布带入真...
【技术保护点】
一种单晶炉真空系统过滤器，由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过滤网布构成，其特征是：所述的过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈立民，邸素艳，王存，商健，赵极，潘强，张新伟，闫卫东，李正川，
申请(专利权)人：锦州日鑫硅材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：21[中国|辽宁]
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