激光刻线除尘装置制造方法及图纸

技术编号:5883348 阅读:240 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种激光刻线除尘装置,适用于激光发生器对非晶硅太阳能板刻线时进行除尘,激光刻线除尘装置包括吸尘装置及抽风装置,吸尘装置与抽风装置相连通,抽风装置包括抽风箱及连接于其外侧的静电消除棒,抽风箱具有抽风箱进风口及抽风箱出风口,抽风箱出风口与所述吸尘装置连通,抽风箱进风口覆盖于所述非晶硅太阳能板刻线轨迹的正上方,利用抽风箱组有针对性的吸去粉尘,配合有静电消除棒能最大程度的扩大除尘范围和提高针对性,结构简单,成本低廉,利用较小功率的抽风机就可获得除尘的理想效果,不需封闭环境,在将粉尘混合于引流气体的同时,还可起到降温的作用。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种清理收集粉尘用的除尘装置,尤其涉及一种在用激光 发生器对非晶硅太阳能板刻线时进行除尘用的激光刻线除尘装置
技术介绍
在太阳能板制备过程中,尤其是非晶硅太阳能电池板制备过程中每一次的 蒸镀(或溅镀,或覆膜)都需要用激光发生器对其进行激光刻线,刻线后如不 清理刻线过程中产生的粉尘,则粉尘将沉积在刻线槽及板上,在下一次蒸镀(或 溅镀,或覆膜)过程中上述这些粉尘将被覆盖,从而造成板上布局的线路发生短路;同时沉积在玻璃表面的粉尘也将影响下一次蒸镀过程中的薄膜厚度和均 匀度,进而降低整块板的光电转换率。目前应用于对激光刻线中产生的粉尘进行收集的方式主要有三种,第 一种 为大功率抽风机封闭环境引流方法,即将激光刻线工作平台用外罩封闭,利用 安装在刻线非晶硅太阳能板两侧或其上方的大功率抽风机将封闭空间的气流引 出,使粉尘随气流被抽风机抽出封闭空间;第二种为全覆盖式集风箱除尘方法,即是在刻线非晶硅太阳能板上方安装一个漏斗形或梯形的集风箱,再设置一抽 风机与集风箱连通,上述集风箱的箱体完全罩住非晶硅太阳能板,利用抽风机将粉尘吸进集风箱中;第三种是采用静电除尘方法,目前主流的静电除尘技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光刻线除尘装置,适用于激光发生器对非晶硅太阳能板刻线时进行除尘,所述激光刻线除尘装置包括吸尘装置及抽风装置,所述吸尘装置与所述抽风装置相连通,其特征在于:所述抽风装置包括抽风箱及连接于其外侧的静电消除棒,所述抽风箱具有抽风箱进风口及抽风箱出风口,所述抽风箱出风口与所述除尘装置连通,所述抽风箱进风口覆盖于所述非晶硅太阳能板刻线轨迹的正上方。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:覃海王勇蓝劾
申请(专利权)人:东莞宏威数码机械有限公司
类型:实用新型
国别省市:44[中国|广东]

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