制作具有垂直集成电子产品及晶片规模气密封装的X-Y轴双质量块调谐叉陀螺仪的方法技术

技术编号:5779968 阅读:303 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种用于测量X-Y传感器平面中角速度的X及Y分量的双轴传感器。所述双轴传感器包含用于测量角速度的所述X分量的第一子传感器及用于测量角速度的所述Y分量的第二子传感器。所述第一子传感器及所述第二子传感器含纳于所述双轴传感器内的单个气密密封内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及角速度传感器,且更特定来说涉及具有两个振荡检测质量块的平 面内角速度传感器。
技术介绍
常常使用惯性传感器来执行对角速度的感测。广泛地说,惯性角速度传感器 通过驱动所述传感器进行第一运动并测量所述传感器的第二运动来起作用,所述 第二运动响应于所述第一运动及待感测的角速度两者。常常由致动器驱动传感器内的质量块(通常称作检测质量块)使其振荡。传 感器的旋转向振荡质量块传递科里奥利(Coriolis)力,所述科里奥利(Coriolis) 力与角速度(或旋转速率)成比例且取决于角速度向量相对于所述检测质量块的 速度向量的定向。所述科里奥利(Coriolis)力、所述角速度向量及所述质量速度 向量相互垂直。例如,在绕Y轴旋转的传感器内沿X方向移动的检测质量块会 经受Z方向上的科里奥利(Coriolis)力。类似地,在绕Z轴旋转的传感器内沿X 方向移动的检测质量块会经受Y方向上的科里奥利(Coriolis)力。最后,在绕X 轴旋转的传感器内沿X方向移动的检测质量块不会经受科里奥利(Coriolis)力。 传递给检测质量块的科里奥利(Coriolis)力通常是通过测量传感器内响应于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量X-Y传感器平面中角速度的X及Y分量的双轴传感器,所述双轴传感器包括:    第一子传感器,其用于测量角速度的所述X分量;及    第二子传感器,其用于测量角速度的所述Y分量,    其中用于测量角速度的所述X分量的所述第一子传感器及用于测量角速度的所述Y分量的所述第二子传感器含纳于所述双轴传感器内的单个气密密封内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:史蒂文S纳西里约瑟夫西格马丁利姆安东尼弗朗西斯小弗兰纳里亚历山大卡斯特罗
申请(专利权)人:因文森斯公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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