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本发明提供一种用于测量Ｘ－Ｙ传感器平面中角速度的Ｘ及Ｙ分量的双轴传感器。所述双轴传感器包含用于测量角速度的所述Ｘ分量的第一子传感器及用于测量角速度的所述Ｙ分量的第二子传感器。所述第一子传感器及所述第二子传感器含纳于所述双轴传感器内的单个气密...
该专利属于因文森斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过因文森斯公司授权不得商用。

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