高速基片对齐器设备制造技术

基片对齐器提供了最小的基片运输器延伸和收回运动以快速地对齐基片而不损坏背侧，同时增加了基片处理的生产能力。在一个实施例中，对齐器具有连接到框架的倒转卡盘，带有能将基片从卡盘传递到运输器的基片传递系统而不旋转地再定位基片。倒转卡盘消除了对齐器对基片基准的阻挡，且与传递系统一起允许运输器在对齐期间保持在框架内。在另一个实施例中，对齐器具有连接到框架的可旋转传感器头和带有透明安放垫的用于在对齐期间支承基片的基片支承件，使得运输器可以在对齐期间保持在框架内。基片对齐与基准在支承垫上的放置无关地进行。在其他实施例中，基片支承件使用了缓存器系统以在设备内侧缓存基片，从而允许快速的基片交换。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
在此披露的典型的实施例涉及基片对齐器设备。
技术介绍
集成电路(IC)由半导体材料的基片(晶片)生产。在IC制造期 间，晶片典型地容纳在盒内且移动到处理站，在处理站处通过基片运 输器将晶片从盒移除且放置在晶片对齐器内以实现对于进一步晶片处 理所希望的预先确定的定向。在常规对齐器中，基片运输器可以将晶片放置在晶片对齐器上且 然后在晶片对齐过程期间从对齐器移开。这由于在晶片对齐过程前和 过程后的基片运输器延伸和收回导致增加的晶片对齐时间。同样，如果将晶片的对齐特征或基准放置在例如对齐卡盘安放垫的对齐器特征 上方，使得晶片基准掩盖对齐器的基准传感器，则这将导致晶片放置 和基准感测的重试，因此进一步增加了对齐时间。在对齐过程期间的 基片运输器重复移动以及对晶片对齐特征的阻挡造成了对齐过程中的 低效，因此降低了晶片处理和生产的生产能力。因为在将晶片放置在对齐器上时潜在的基片运输器重试和通过对 齐器处理的大量晶片，为处理而将 一 批晶片对齐所需的时间可能大体 上增加。如下的表l图示了以常规基片对齐器进行的常规对齐过程。表1<table>table see original doc本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基片对齐器设备，其包括：　适合于允许基片运输器将基片运输到设备和从设备运输的框架；　传感器头，其连接到框架且具有至少一个感测装置，以用于检测定位在设备中的基片的位置确定特征，且建立基片的对齐后位置；和　可移动地安装到框 架且适于在其上支承基片的卡盘，该卡盘相对于框架可移动，以用于将卡盘上的基片定位到对齐后位置；其中，传感器头固定到卡盘。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：JT毛拉，M候塞克，T博顿利，U吉尔克里斯特，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]