铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备，包括反应容器、设于反应容器外并与之连通的真空泵、设于反应容器内的加热装置和给反应容器内提供等离子体的等离子体发生装置，所述反应容器下方设有上端伸入反应容器内部的转动轴，所述反应容器还连通设有保护气体输入装置和硒化和／或硫化反应源装置。本实用新型专利技术可以保持原有方法的较高转换效率，也避免使用硒化氢或硫化氢等剧毒气体，提高镀膜加工安全，还提高了硒源和／或硫源的使用效率。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备。
技术介绍
现有的铜铟镓硒硫(CuInGaSeS)或铜铟镓硒(CuInGaSe)或铜铟镓硫(CuInGaS)薄膜太阳能电池的制备方法被分为两大类第一类被称为多元共蒸法，第二类被称为硒化和/或硫化法。多元共蒸法的特点为铜、铟、镓、硒(及/或硫)四种成分同时蒸发，或先镀铟、镓、硒，再镀铜、硒，最后再镀铟、镓、硒的3段法。共蒸发法特点是薄膜的晶体大，容易实现元素的梯度分布，电池转换效率髙，世界纪录小面积电池效率19.9%和大面积120x60cii^组件效率超过13%都是由蒸发法制备的。但是该方法对设备要求严格，蒸发过程不容易控制，大面积均匀性与连续化生产难度很大。第二类的硒化和/或硫化法则较适用与大面积的量产。先镀上铜、铟、镓的金属前驱膜，然后再放入高温加热的容器内，充入媒介氩气或其它等与铜、铟、镓不反应的保护气体，同时充入少量硒化氢或硫化氢进行硒化和/或硫化，使该层由铜、铟、镓反应成铜铟镓硒或铜铟镓硫的晶体膜，这种方法的优点是把镀铜、铟、镓与硒及硫分别镀，能够较准确地控制铜、铟、镓的成分比例。该方法制备的大面积本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备，其特征在于：包括反应容器（４）、设于反应容器（４）外并与之连通的真空泵（６）、设于反应容器（４）内的加热装置（８）和给反应容器（４）内提供等离子体的等离子体发生装置（７），所述反应容器（４）下方设有上端伸入反应容器（４）内部的转动轴（５），所述反应容器（４）还连通设有保护气体输入装置（９）和硒化和／或硫化反应源装置（１０）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：窦晓明，范滨，刘穆清，唐健，
申请(专利权)人：苏州富能技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]