铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的制备方法及镀膜设备技术

本发明专利技术公开了一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的制备方法，在先后制备了底层导电膜和金属前驱膜后，将硒化和／或硫化反应源在真空中因高温和等离子放电激发成游离态或离化态的硒分子和／或硫分子，然后在金属前驱膜上进行硒化和／或硫化反应。其及镀膜设备包括反应容器和设于反应容器外并与之连通的真空泵，所述反应容器下方设有上端伸入反应容器内部的转动轴，所述反应容器内还设有等离子体发生装置和加热装置，所述反应容器还连通设有保护气体输入装置和硒化和／或硫化反应源装置。本发明专利技术可以保持原有方法的较高转换效率，也避免使用硒化氢或硫化氢等剧毒气体，提高镀膜加工安全，还提高了硒源和／或硫源的使用效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收 层的制备方法及镀膜设备。
技术介绍
现有的铜铟镓硒硫(CiiInGaSeS)或铜铟镓硒(CiiInGaSe)或铜铟镓硫 (CuIiiGaS)薄膜太阳能电池的制备方法被分为两大类第一类被称为多元共蒸 法，第二类被称为硒化和/或硫化法。多元共蒸法的特点为铜、铟、镓、硒(或 硫)四种成分同时蒸发，或先镀铟、镓、硒，再镀铜、硒，最后再镀铟、镓、 硒的3段法。共蒸发法特点是薄膜的晶体大，容易实现元素的梯度分布，电池 转换效率髙，世界纪录小面积电池效率19.9%和大面积120x60cm2组件效率 超过13%都是由蒸发法制备的。但是该方法对设备要求严格，蒸发过程不容 易控制，大面积均匀性与连续化生产难度很大。第二类的硒化和/或硫化法则较适用与大面积的量产。先镀上铜、铟、镓 的金属前驱膜，然后再放入髙温加热的容器内，充入媒介氩气或其它等与铜、 铟、镓不反应的保护气体，同时充入少量硒化氢或硫化氢进行硒化和/或硫化， 使该层由铜、铟、镓反应成铜铟镓硒或铜铟镓硫的晶体膜，这种方法的优点是 把镀铜、铟、镓与硒及硫分别镀，能够较准确地控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的制备方法，其特征在于包括以下步骤：　１）制备底层导电膜：在衬底（１）上，利用掩膜蒸发或溅射制成底层导电膜（２）；　２）制备薄膜电池的金属前驱膜（３）：在底层导电膜（２）上用磁控溅射或真空蒸发的方法镀上铜、铟、镓的金属前驱膜（３）；　３）硒化和／或硫化反应：将待加工模块置于反应容器（４）中，然后将反应容器（４）抽成真空状态，将不与铜、铟、镓反应的保护气体以及硒化和／或硫化反应源送入反应容器（４）中，在反应容器（４）内进行加热和等离子放电，使得部分硒分子和／或硫分子在等离子体下被激发成游离态和离化态在金属前驱膜（３）上进行硒化和／或硫化反应。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘穆清，窦晓明，唐健，范滨，
申请(专利权)人：苏州富能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]