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本发明公开了一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的制备方法，在先后制备了底层导电膜和金属前驱膜后，将硒化和／或硫化反应源在真空中因高温和等离子放电激发成游离态或离化态的硒分子和／或硫分子，然后在金属前驱膜上进行硒化和／或硫...
该专利属于苏州富能技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州富能技术有限公司授权不得商用。

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