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本实用新型公开了一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备，包括反应容器、设于反应容器外并与之连通的真空泵、设于反应容器内的加热装置和给反应容器内提供等离子体的等离子体发生装置，所述反应容器下方设有上端伸入反应容器内部...
该专利属于苏州富能技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州富能技术有限公司授权不得商用。

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