从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题是提供不需要以氢氧化铟的状态进行回收，且回收时没有操作的不良，可以使用过滤器等容易地进行回收，回收率显著地良好的铟的回收方法和装置。其特征在于，将形成为在三维上呈现的任一部分的径均为２．５～１０ｍｍ的立体的、由锌构成的析出用金属浸渍在至少含有铟和氯化铁的蚀刻废液中并静置，利用锌与铟的离子化倾向的差异，使所述蚀刻废液中含有的铟析出于所述析出用金属的表面，将析出于该析出用金属的表面的铟剥离并回收。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的铟的回收方法及其 装置，更详细地讲，涉及从在例如液晶显示器、等离子显示器等的平板显 示器的制造过程中发生的蚀刻废液中，以合金或金属单质等形式回收有价值物质铟(In)的方法和装置。
技术介绍
液晶显示器、等离子显示器等的平板显示器(FPD),近年较多地用 于计算机的显示器、电视显像器、便携式电话的显示部等的各种电子设备。 在这样的FPD的制造过程中，当然会产生废液，在必须处理这样的废液方 面，不仅经营这样的FPD的液晶制造厂，而且与半导体制造厂、镀敷工厂 的情况也同样。并且，在这样的FPD的制造过程中发生的废液之一，有含 有铟和氯化铁的蚀刻废液。一般地，产业废液中往往含有种种的金属，进行上述FPD的制造等的 液晶制造厂废液中含有ln等，半导体制造厂废液中含有铜(Cu )、镓(Ga ) 等，镀敷工厂废液中含有镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)等，正尝试将它 们以作为有价值物质的金属单质的形式回收。如果能够将它们以金属单质 或合金的形式回收，则能够将这些金属进行再利用等。作为回收重金属类的废液处理技术，过去一般采用使用药剂的凝聚沉 淀处理、共沉处理等，在浓度低时，也使用吸附剂除去金属类。例如作为 利用使用药剂的凝聚沉淀处理的技术，有下述专利文献l涉及的专利技术。然而，对上述的含有铟和氯化铁的蚀刻废液使用上述的凝聚沉淀处理 的场合，虽然能够以氩氧化铟形式进行回收，但氯化铁也以氩氧化物形式沉淀，作为整体来讲存在氢氧化物渣滓的发生量增多的问题。而且由于大 部分成为含铁的渣滓的状态，因此也存在未变成有价值物质的问题。另 一方面，作为有关从含有铟和氯化铁的蚀刻废液除去铟的方法和回收方法的现有技术，本专利技术者们检索的结果，唯一存在下述专利文献2所 述的专利申情。即，该专利文献2涉及的专利技术，如其权利要求l所述的那 样，是一种铟的除去、回收方法，该方法的特征在于，向含有铟和氯化铁 的蚀刻废液添加4失、镍化合物。另外，关于具体的回收手段，在该专利文献2的说明书的段落0022j 中记载了"向该废液中添加镍化合物，加入铁进行搅拌加热，使镍析出 并使铟析出。由此，能够从该废液除去铟。即，能够从沉淀物回收铟， "， 而且，在段落0023j中记载了"向含有铟和氯化《失的蚀刻废液添加铁从 而析出的铟和镍等所组成的混合物附着在铁上，因此作为沉淀物能够简单 地从溶液中分离。作为该沉淀物的分离方法，可举出重力式沉降、过滤、 利用旋风器等的离心力的方法。"。由这些记载来判断，在专利文献2的方法中，通过添加镍离子而引起 镍的析出反应，伴随该析出反应而发生铟的析出反应，因此所回收的铟合 金中，铟浓度非常低，作为以镍为主体的合金而回收，然而，专利文献2 中对于回收的铟合金的分离手段等没有记载。因此，该专利文献2的方法， 即使能够作为从废液除去铟的技术来利用，也未必可确认能够有效用作为 将铟作为有价值物质进行回收的技术。专利文献1:日本国特开2005-342694号公报专利文献2:日本国特开2004-75463号公才艮
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述的问题而完成的研究，其课题是提供不需要象 过去那样以氢氧化铟的状态进行回收，并且在回收时也没有如氢氧化铟的 情况那样的操作的不良，能够使用过滤器等容易地进行回收，而且铟的回 收率显著地良好的铟的回收方法和装置。本专利技术为了解决上述的课题，提供从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法及其装置，作为铟的回收方法的特征是该方法是从至少含有铟 和氯化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收方法，将形成为 在三维上呈现的任一部分的径均为2.5~ 10mm的立体的、由锌构成的4斤出 用金属浸渍在蚀刻废液中并静置，利用锌与铟的离子化倾向的差异，使上 述蚀刻废液中含有的铟析出于上述析出用金属的表面，将析出于该析出用 金属的表面的铟剥离并回收。另外，作为铟的回收装置的特征是该回收装置是从至少含有铟和氯 化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收装置，具有反应槽(i )，其容纳蚀刻废液，将形成为在三维上呈现的任一部分的 径均为2.5~10mm的立体的、由锌构成的析出用金属浸渍在该蚀刻废液中 并静置，利用锌与铟的离子化倾向的差异，产生使上述蚀刻废液中含有的 铟在上述析出用金属的表面析出的反应；和剥离装置，其从上述析出用金属剥离析出于上述析出用金属的表面的铟。再者，作为本专利技术的回收对象的铟，除了作为金属单质来回收以外， 有时也作为合金来回收或作为化合物等来回收，另外，蚀刻废液中含有的 铟通常是离子、化合物等的状态，因此难以将它们全部严格且明确地区另ij， 另外，未必需要将全部明确地区别。因此，在本专利技术中仅称为「铟」时， 除了意指金属单质的情况以外，还包括为合金、化合物的情况等。另外，可以使在表面析出了铟的析出用金属在例如流动装置2内的液 体中流动，然后，利用设置于该流动装置2的剥离装置剥离析出于析出用 金属上的铟并回收铟。此外，还可以通过将表面析出有铟的析出用金属浸渍在盐酸中而使铟 溶解在盐酸溶液中，在向流动装置2供给溶解有铟的盐酸溶液的同时，向 上述流动装置2供给上述析出用金属，使上述析出用金属在流动装置2内 的盐酸溶液中流动，接着，使盐酸溶液中的铟再次在该析出用金属上析出， 然后，利用设置于该流动装置2内的剥离装置剥离在上述析出用金属上析6出的铟并回收铟。作为从析出用金属剥离在该析出用金属上析出的铟的装 置，例如可以采用利用超声波使金属粒子振动的装置。本专利技术如上所述，将在三维上呈现的任一部分的径均为2.5~ 10mm的 立体的由锌构成的析出用金属浸渍在含有铟和氯化铁的蚀刻废液中并静 置，利用锌与铟的离子化倾向的差别，使上述蚀刻废液中含有的铟在上述 析出用金属的表面析出，将该析出用金属的表面上析出的铟剥离并回收， 因此从蚀刻废液回收铟时，通过将利用锌与铟的离子化倾向的差别的置换 沉淀(cementation)反应与剥离技术组合，即将离子化倾向比铟大的锌作 为析出用的金属形成为所希望的大小而使用，用于金属析出反应的金属的 总表面积增加，回收效率增高。另外，通过利用剥离装置剥离某种程度地 生长的析出金属，能够使用过滤器等容易地回收析出的铟。而且，析出用 金属，通过剥离铟而使新的金属表面露出，因此可以进行再利用。尤其是，在成为本专利技术对象的含有铟和氯化铁的蚀刻废液的情况下， 通常，氯化铁的浓度非常高，为30重量。/。以上，若要采用利用上述离子化 倾向的置换沉淀反应，则析出用金属的溶解反应激烈，难以控制还原析出 反应。另外，铁和铟在锌表面析出，在锌的溶解反应停止前，锌粒子会全 部溶解，其结果，析出的铟再次溶解，不能够回收。与此相对，在本专利技术 中，如上所述由于作为析出用金属使用形成为在三维上呈现的任一部分的 径均为2.5~10mm的立体的锌，将其浸渍在蚀刻废液中并静置，因此析出 用金属的溶解反应没有那么激烈，所以，并不难以控制还原析出反应，并 且，析出用金属也不会溶解到必要以上。另外，作为析出用金属，虽然也 考虑利用例如铝，但对于铝而言，由于溶解所导致的放热反应而使温度上 升，因此溶解速度大大地增大，由于该溶解速度的增加，温度进一步上升， 重复这样的溶解速度的增加和温度上升，结果铝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法，是从至少含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收方法，其特征在于，将形成为在三维上呈现的任一部分的径均为２．５～１０ｍｍ的立体的、由锌构成的析出用金属浸渍在蚀刻废液中并静置，利用锌与铟的离子化倾向的差异，使所述蚀刻废液中含有的铟析出于所述析出用金属的表面，将析出于该析出用金属的表面的铟剥离并回收。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：三木武夫，杉本保，佐桥荣一，本马隆道，前背户智晴，
申请(专利权)人：夏普株式会社，株式会社神钢环境舒立净，
类型：发明
国别省市：JP[]