包括具有各自的晶体取向的多个层的X射线聚焦光学器件制造技术

技术编号:5494032 阅读:240 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种用于接收和重定向X射线的衍射X射线光学器件。该光学器件包括至少两个层,所述层具有类似的或不同的材料组成和类似的或不同的晶体取向。所述层中的每一个显示出衍射效应,且它们的整体效应对所接收的X射线上提供衍射效应。在一个实施例中,所述层为硅,且采用绝缘体上硅键合技术将所述层键合到一起。在另一实施例中,可以采用粘结键合技术。该光学器件可以为曲面、单色光学器件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于接收和重定向X射线的衍射光学器件,包括: 至少两个晶体层,所述层具有类似的材料组成和不同的晶体取向。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈泽武
申请(专利权)人:X射线光学系统公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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