触摸面板装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及触摸面板装置及其制造方法。具备形成在触摸区域并由ＩＴＯ构成的位置检测用电极、和配置在边框区域并与位置检测用电极电连接的配线部。配线部包括：从位置检测用电极引出并由ＩＴＯ构成的第一图案膜、叠层于第一图案膜并由ＩＺＯ构成的第二图案膜、和叠层于第二图案膜并由银或银合金构成的第三图案膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
近年来，用于检测接触位置的触摸面板装置被广泛使用(参照例如专利文献1)。触摸面板装置在多数情况下与例如液晶显示面板等显示装置重叠设置。触摸面板装置根据其动作原理，可以分类为电阻膜方式、静电电容方式(例如专利文献1)、红外线方式、超声波方式、电磁诱导方式等。其中，静电电容方式的触摸面板装置对显示装置的光学特性的损害较小，适用于显示装置。电容方式的触摸面板装置在一般情况下，具有设置在触摸区域的位置检测用的透明电极、设置在该透明电极的周缘部分的多个电极端子、和检测流过电极端子的电流的电流检测电路。触碰触摸区域时，透明电极在触碰位置上经由介于透明电极和人体间的绝缘体的静电电容接地。由触碰位置的不同，在各电流端子和接地点之间的电阻值产生变化，所以用电流检测电路检测出该变化，以此检测出触碰位置。另外，触摸面板装置具有例如矩形的触摸区域、和在其周围形成的边框区域。在边框区域设有上述电极端子和电流检测电路，并且形成有连接这些电极端子和电流检测龟路的引出配线。上述透明电极、电极端子和引出配线，通常由丝网印刷等印刷法形成(参照例如专利文献2)。专利文献1:日本专利特开2003-66417号公报专利文献2:日本专利特表2003-526853号公报
技术实现思路
但是，对于触摸面板装置，在确保触摸区域的面积尽量大的同时，要求装置全体小型化。因此，优选尽可能地縮小边框区域。但是，上述以往的印刷法很难縮小触摸面板装置的边框区域。艮P，虽然用印刷法能够比较容易地制造触摸面板装置，但存在需要比较大的对准裕量和印刷的渗透等问题，所以难以精密地形成配线和电极等的图案。例如从移动设备等来看，近年来显示面板的小型化和窄边框化在不断发展，触摸面板装置的窄边框化成为非常重要的问题。本专利技术借鉴上述诸点而完成，目的在于谋求触摸面板装置的窄边框化，并且提高可靠性。为了达成上述目的，本专利技术的触摸面板装置，是具有作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域、和设置在上述触摸区域外侧的边框区域的触摸面板装置，其具备形成在上述触摸区域并由ITO构成的位置检测用电极、和配置在上述边框区域并与上述位置检测用电极电连接的配线部，上述配线部包括从上述位置检测用电极引出并由ITO构成的第一图案膜、叠层于上述第一图案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠层于上述第二图案膜并由银或银合金构成的第三图案膜。另外，本专利技术的触摸面板装置，是具有作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域、和设置在上述触摸区域外侧的边框区域的触摸面板装置，其具备形成在上述触摸区域并由ITO构成的位置检测用电极、和配置在上述边框区域并与上述位置检测用电极电连接的配线部，上述配线部包括从上述位置检测用电极引出并由ITO构成的第一图案膜、叠层于上述第一图案膜并由izo构成的第二图案膜、和叠层于上述第二图案膜并由铝或铝合金构成的第三图案膜。所述配线部优选通过光刻法形成。另外，本专利技术的触摸面板装置的制造方法，是制造以下触摸面板装置的制造方法，该触摸面板装置具备形成在作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域的位置检测用电极、和配置在上述触摸区域外侧的边框区域并与上述位置检测用电极电连接的配线部，上述配线部包括从上述位置检测用电极引出并由ITO构成的第一图案膜、叠层于上述第一图案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠层于上述第二图案膜并由银或银合金构成的第三图案膜，上述制造方法包括依次叠层ITO层、IZO层、和银层或银合金层的工序；通过光刻法对上述银层或银合金层、和上述IZO层进行图案化，形成上述第三图案膜和上述第二图案膜的工序；和通过光刻法对上述ITO层进行图案化，形成上述第一图案膜的工序。另外，本专利技术的触摸面板装置的制造方法，是制造以下触摸面板 装置的制造方法，该触摸面板装置具备在检测出所接触的接触体的位 置的区域的位置检测用电极、和配置在上述触摸区域外侧的边框区域并与上述位置检测用电极电连接的配线部，上述配线部包括从上述位置检测用电极引出并由ITO构成的第一图案膜、叠层于上述第一图 案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠层于上述第二图案膜并由铝或 铝合金构成的第三图案膜，上述制造方法包括依次叠层ITO层、IZO 层、和银层或银合金层的工序；通过光刻法对上述银层或银合金层、 和上述IZO层进行图案化，形成上述第三图案膜和上述第二图案膜的 工序；和通过光刻法对上述ITO层进行图案化，形成上述第一图案膜 的工序。以下说明本专利技术的作用。上述触摸面板装置检测出接触体接触触摸区域时的接触位置。艮P， 在接触触摸区域的接触体和位置检测用电极之间形成静电电容，经由 配线部检测该静电电容，以此检测出接触体的接触位置。在本专利技术中，配线部由第一 第三图案膜的叠层体构成，第三图 案膜由电阻小的银或银合金构成，所以在触摸区域产生的静电电容被 配线部精度良好地传导。另外，根据其他专利技术，由于第三图案膜由铝 或铝合金构成，所以在这种情况下在触摸区域产生的静电电容也被配 线部精度良好地传导。制造上述触摸面板装置时，能够用光刻法形成配线部。即，第三 图案膜由银或银合金构成时，首先在透明基板上依次叠层ITO层、IZO 层、和银层或银合金层。然后，通过光刻法对银层或银合金层、和IZO 层进行图案化，形成第三图案膜和第二图案膜。之后，通过光刻法对 ITO层进行图案化，形成第一图案膜。在这种情况下，由于在银或银合金构成的第三图案膜与ITO构成 的第一图案膜之间，存在IZO构成的第二图案膜，所以第一图案膜(ITO)和第三图案膜(银或银合金)之间不产生电蚀。所以，由于防 止在光刻法的蚀刻时的电蚀，可精度良好并确实地形成配线部，并且 提高其可靠性。而且，由于配线部能够用光刻法而非印刷法形成，所以不会产生 大的对准裕量、印刷的渗透等问题，能够精密地形成配线部。其结果, 能够实现触摸面板装置的窄边框化。另外，在第三图案膜由铝或铝合金构成时，也与银或银合金的情 况相同，能够实现触摸面板装置的边缘窄化，并且能够提高可靠性。根据本专利技术，配线部包括由ITO构成的第一图案膜、叠层于第一 图案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠层于第二图案膜并由银或银 合金构成的第三图案膜，所以，能够将触摸面板装置的边框区域窄边 框化，并且能够提高可靠性。附图说明图1是表示触摸面板装置1的外观的平面图。图2是图i中的n-ii线截面图。图3是将配线部10的结构扩大显示的截面图。 图4是表示叠层在玻璃基板上的ITO层、IZO层和银层或银合金 层的截面图。图5是表示用于对银层或银合金层、和IZO层进行图案化的光致抗蚀剂的平面图。图6是表示用于对银层或银合金层、和IZO层进行图案化的光致抗蚀剂的截面图。图7是表示形成有第二和第三图案层以及第二和第三导电部的状态的平面图。图8是表示形成的第二和第三图案层的截面图。图9是表示用于对ITO层进行图案化的光致抗蚀剂的平面图。图10是表示用于对ITO层进行图案化的光致抗蚀剂的截面图。图11是表示形成的配线部和边框导电部的平面图。图12是表示形成的配线部的截面图。图13是表示形成有接触孔的绝缘膜的截面图。符号说明A触摸区域B边框区域1触摸面板装置10配线部11边框导电部13安装区域16玻璃基板17透明导电膜17a位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触摸面板装置，其具有作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域、和设置在所述触摸区域外侧的边框区域，其特征在于，具备：　形成在所述触摸区域并由ＩＴＯ构成的位置检测用电极，和　配置在所述边框区域，与所述位置检测用电极电连接 的配线部，　所述配线部包括：从所述位置检测用电极引出并由ＩＴＯ构成的第一图案膜、叠层于所述第一图案膜并由ＩＺＯ构成的第二图案膜、和叠层于所述第二图案膜并由银或银合金构成的第三图案膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：贝川裕之，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]