【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于制造液晶光学设备的工艺，更特别地，涉及用于制造具有无机配向膜(alignment film )的液晶光学设备的工艺。
技术介绍
诸如液晶显示设备和液晶光阀之类的包含液晶的光学设备均基本 上由彼此对向设置的 一对基板和插入它们之间的液晶构成。对于设置 在其中一个基板或这两个基板上的(一个或多个)电极施加电压，由 此液晶分子的配向的状态改变，并且可以控制诸如双折射(双重折射) 和旋光性(optical rotary power)之类的光学性能。在基板中的至少之一上形成用于配向液晶分子的配向膜。当不施 加电压时，液晶分子的方向被配向膜规制。作为形成配向膜的方法， 通过涂敷而在基板上形成聚合物膜并沿一个方向摩擦其表面的摩擦方 法是最典型的。此摩擦方法使得液晶分子能够均匀地与具有大面积的 基板配向，因此适于在大面积基板上形成配向膜。在摩擦方法中使用 最广泛的聚合物膜材料是聚酰亚胺。聚酰亚胺在通常的显示器中使用 的环境中，对于光或温度变动具有高的耐久性。但是，在被用作投影型显示器的光快门的液晶显示设备中，液晶 暴露于强光下，因此高分子膜趋于劣化并且不能期...
【技术保护点】
一种液晶光学设备的制造方法，该制造方法包括： 配向膜形成步骤，在基板上形成含有硅氧化物的配向膜；以及液晶单元形成步骤，设置一对基板，所述一对基板彼此相对，其间插入有液晶，所述一对基板中的至少一个上面已形成有配向膜，其中 所述配向 膜形成步骤包含：通过使用含硅材料作为阴极的真空电弧放电来产生等离子束的步骤；以及用等离子束轰击以一角度倾斜地设置在等离子束的行程上的基板的表面的步骤；以及 在轰击基板的表面的步骤中，与形成具有柱体结构的膜的等离子束中的等离子体离子相比 ，以所述角度倾斜地轰击基板时的等离子束中的等离子体离子具有更高的动能或更高的通量密度。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：酒井明，宫田浩克，浅尾恭史，石田阳平，PJ马丁，A本达维德，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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