搅拌装置、具有搅拌装置的纳米粉末制造装置及制造方法制造方法及图纸

一种搅拌装置、具有搅拌装置的纳米粉末制造装置及制造方法，其中该纳米粉末制造装置包括：搅拌槽（５３０），用于容纳纳米材料的支持体（５２０）；垂直输送部件（５３１），位于搅拌槽（５３０）中，用于通过螺旋式旋转将所述支持体从搅拌槽（５３０）的下部垂直输送至搅拌槽的上部；支持板（５３４），位于搅拌槽（５３００中以及垂直输送部件（５３１）的上部，用于支持所述垂直输送部件输送来的支持体（５２０），所述支持板（５３４）为中间高、外周低的锥形或锥台形；以及沉积装置，其包括沉积源，该沉积源位于搅拌槽（５３０）中以及支持板（５３４）的上方，用于利用物理沉积方式向支持体沉积纳米粉末。该纳米粉末制造装置可以使支持体或支持体芯片混合均匀，并减少支持体或支持体芯片之间的摩擦。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：李哲修，高锡勤，周栽镐，吕运贞，
申请(专利权)人：株爱纳米，
类型：发明
国别省市：HK