一种恒温微机械加速度计制造技术

本实用新型专利技术涉及一种恒温微机械加速度计，属于运动参数测量技术领域。包括上盖、功率驱动元件、热敏元件、温度传感器、电路板、加热膜、底座和左右封装端。上盖、底座和左右封装端构成机械加速度计的密封壳体。加热膜粘贴在底座的内表面上；所述的电路板固定在壳体的中部，并置于加热膜的上方。功率驱动元件、热敏元件和温度传感器分别安装在电路板上。本微机械加速度计的优点是：利用消除温度变化对微机械加速度计测量精度带来的误差，因此可提高微机械加速度计的测量精度。由于无须测量每个微机械加速度计的温度特性曲线，因此可大幅度提高生产效率。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种恒温微机械加速度计，属于运动参数测量
技术背景加速度计主要用于测量运动物体相对惯性空间的线运动参数，在民用产品和国防产品 领域中广泛用于对物体运动状态的测量和控制。传统的加速度计受体积、重量和成本等因 素的限制，难以在民用领域推广应用。以集成电路(IC)工艺和精密机械加工工艺为基础 制作的微机械加速度计具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高等突出优点，其体积和价 格比常规加速度计小三、四个数量级乃至更多，因而可用于汽车运动状态控制系统、摄像 机稳定系统、运动机械控制、机器人测控、大地测量、医用仪器等广泛的民用应用领域。微机械加速度计通电工作时，其功耗会造成加速度计本身温度升高，环境温度的变化 也会造成加速度计本身温度的变化。温度变化不仅引起噪声干扰的变化，还会引起敏感结 构几何尺寸以及电介质常数的变化，进而引起敏感电容的变化，造成较大的输出测量误差， 严重影响微机械加速度计精度。随着微机械加速度计的广应用，对微机械加速度计的精度要求也越来越高。为了提高 微机械加速度计的精度，必须要补偿温度变化带来的测量误差。为了减小温度变化引起的误差， 一般将微机械加速度计本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种恒温微机械加速度计，其特征在于该机械加速度计包括上盖、功率驱动元件、热敏元件、温度传感器、电路板、加热膜、底座和左右封装端；所述的上盖、底座和左右封装端构成机械加速度计的密封壳体，所述的加热膜粘贴在底座的内表面上；所述的电路板固定在壳体的中部，并置于加热膜的上方；所述的功率驱动元件、热敏元件和温度传感器分别安装在电路板上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高宏，鲁政，胡向阳，丁炜，
申请(专利权)人：中兵光电科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]