【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，该方 法可用于扫描探针显微镜碳纳米管探针在形貌检测、纳米加工，以及场发射纳米管器件等 领域。
技术介绍
扫描探针显微镜碳纳米管探针是将纳米管固定在普通探针的末端，将纳米管作为 探针进行工作。碳纳米管探针已经显示了许多普通探针所不具备的优良性能，如更高的分 辨率、耐磨性和良好的柔韧性等。由于长径比大，纳米管探针被期望是表征陡峭样品的理想 探针。然而由于碳纳米管细长，纳米管探针的横向弹性系数小，导致其在对大深宽比样品进 行形貌表征时，很容易因为横向刚度小而产生弯曲失稳，使获得的图像存生假象，其大长径 比优势没有得到充分的发挥。对于扫描表面起伏较大的粗糙陡峭样品，需要碳纳米管探针具有一定的长度以保 证其长径比大的优势，减小探针的展宽效应，而且同时需要提高纳米管的直径以提高其弹 性系数和稳定性。直径增加势必影响探针分辨率，所以对于表征表面粗糙的样品表面，末端 直径细化的纳米管探针是理想选择。而大长径比且横向刚度大的纳米管探针制备研究仍是 国内外尚未解决的制造难题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度 ...
【技术保护点】
一种电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法，包括下列步骤：１）将需要刚度优化的悬空纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上；２）通过电子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整聚焦电子束设备的工作距离；３）加热金属有机化合物使其变成气态，并使金属有机化合物气体流过悬空纳米管器件；４）然后开启聚焦电子束设备的聚焦电子束发生器，对纳米管器件的局部或全部进行电子束扫描照射；５）在电子束指定照射区域，在电子束的照射轰击下，金属化合物气体被分解，金属沉积物沉积到受电子束照射的纳米管上；６）达到预期沉积参数后，停止电子束照射，关闭金属有机化合物气体阀门，并停止对其加热。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：房丰洲，徐宗伟，肖茵静，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]
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