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电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法技术
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文档序号:5321034
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本发明属于纳米管器件技术领域,涉及一种电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法,包括下列步骤:将需要刚度优化的悬空纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上;通过电子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测,调整聚焦电子束设备的工作距离;加热...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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