下载电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法的技术资料

文档序号:5321034

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本发明属于纳米管器件技术领域,涉及一种电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法,包括下列步骤:将需要刚度优化的悬空纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上;通过电子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测,调整聚焦电子束设备的工作距离;加热...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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