【技术实现步骤摘要】
本技术涉及直拉单晶硅生产
,特别是在单晶硅棒生产过程中一种用于吊装石英坩埚的夹具。
技术介绍
在太阳能硅片的生产过程中,直拉单晶硅生产多为规模化生产,生产车间因生产 设备较多,容易形成对单晶硅棒等原料的交叉污染。在单晶硅棒切割完毕单晶炉拆炉后,炉 内的余温可达到300摄氏度,必须开放炉体进行冷却,在较长时间的开放式冷却过程中,炉 内的石墨粉尘、二氧化硅粉尘以及杂质等会大量挥发,由于目前采用的填料技术通常是直 接添加到炉内,没有任何保护措施,这就导致了相邻单晶炉内填料过程中原料易受到污染。 并且直接添加原料会造成原料的料块探出锅沿或掉到炉底护盘上,加高温后料块融化或渗 入锅邦或流向锅底,重新凝固后将锅邦锅底粘住,使保温性能大大降低,成品率下降;最终 全部渗入石墨件中,使锅邦锅底全部报废,进而使石墨的寿命縮短甚至报废,石墨的价格昂 贵,必然造成生产成本的大幅增加;如果不慎将料块掉到加热器的电极上,使电极柱、电极 螺丝、电极脚粘接在一起,造成整个加热器报废。另外,常规的填料方法时间较长, 一次填料 大约需要2 3个小时,工作效率低下。
技术实现思路
本技术克服上述工艺 ...
【技术保护点】
一种用于吊装石英坩埚的夹具,包括吊架(1)和夹紧装置(2),吊架(1)的底端与夹紧装置(2)活动连接,其特征在于:所述夹紧装置(2)由两瓣或两瓣以上的弧形卡盘(3)构成,弧形卡盘的内弧面与石英坩埚的外圆相配,相邻卡盘(3)间采用锁紧螺栓(4)联接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:范玉红,楚信博,王彦虎,朱瑞忠,
申请(专利权)人:阳光硅谷电子科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:13[中国|河北]
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