一种用于吊装石英坩埚的夹具制造技术

技术编号:5267497 阅读:417 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种用于吊装石英坩埚的夹具,包括吊架和夹紧装置,吊架的底端与夹紧装置销连接,夹紧装置由两瓣或两瓣以上的弧形卡盘构成,相邻卡盘间采用锁紧螺栓联接,弧形卡盘的上端面设置有定位块。本实用新型专利技术应用于直拉单晶硅生产技术领域的单晶硅棒生产过程中,其操作简单、使用方便,大规模投入生产车间后,彻底改变了沿用已久的直拉单晶装填多晶原料的工艺,使得直拉单晶的技术又向前迈进了一步。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及直拉单晶硅生产
,特别是在单晶硅棒生产过程中一种用于吊装石英坩埚的夹具
技术介绍
在太阳能硅片的生产过程中,直拉单晶硅生产多为规模化生产,生产车间因生产 设备较多,容易形成对单晶硅棒等原料的交叉污染。在单晶硅棒切割完毕单晶炉拆炉后,炉 内的余温可达到300摄氏度,必须开放炉体进行冷却,在较长时间的开放式冷却过程中,炉 内的石墨粉尘、二氧化硅粉尘以及杂质等会大量挥发,由于目前采用的填料技术通常是直 接添加到炉内,没有任何保护措施,这就导致了相邻单晶炉内填料过程中原料易受到污染。 并且直接添加原料会造成原料的料块探出锅沿或掉到炉底护盘上,加高温后料块融化或渗 入锅邦或流向锅底,重新凝固后将锅邦锅底粘住,使保温性能大大降低,成品率下降;最终 全部渗入石墨件中,使锅邦锅底全部报废,进而使石墨的寿命縮短甚至报废,石墨的价格昂 贵,必然造成生产成本的大幅增加;如果不慎将料块掉到加热器的电极上,使电极柱、电极 螺丝、电极脚粘接在一起,造成整个加热器报废。另外,常规的填料方法时间较长, 一次填料 大约需要2 3个小时,工作效率低下。
技术实现思路
本技术克服上述工艺弊端,提供一种能够消本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于吊装石英坩埚的夹具,包括吊架(1)和夹紧装置(2),吊架(1)的底端与夹紧装置(2)活动连接,其特征在于:所述夹紧装置(2)由两瓣或两瓣以上的弧形卡盘(3)构成,弧形卡盘的内弧面与石英坩埚的外圆相配,相邻卡盘(3)间采用锁紧螺栓(4)联接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:范玉红楚信博王彦虎朱瑞忠
申请(专利权)人:阳光硅谷电子科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:13[中国|河北]

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