提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构制造技术

一种提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，包括多个不同针径的探针，并对应于待测试芯片的同一测试点，而该测试点可为待测试芯片的焊垫或凸块，用以传送待测试芯片的输入电信号或输出电信号，相邻探针间具有间隙，用以间隔开，或每一探针被绝缘材料层包覆，用以形成电绝缘，借以避免相邻探针之间发生短路，由针径较大的探针传送高电流或高功率信号，而针径较小的探针传送低电流或低功率信号以进行精确的电压电位的测量，借以防止探针损坏，提高芯片测试的电流或功率范围并同时改善电压电位测量的精确度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种悬臂式探针结构，尤其是涉及一种提供芯片进行大电流与电压电 位的测量。
技术介绍
探针卡(Probe card)是在集成电路(IC)进行封装(lockage)前，提供测试机 (Tester)对裸露的芯片进行电气测试的接口，借以将芯片所需的输入信号从测试机传送至 芯片，并将芯片的输出信号传送至测试机，以检视芯片的电气功能，并借以剔除不良芯片而 筛选出合格的芯片以进行后续的封装处理。探针卡一般有悬臂式探针(cantilever probe)、垂直式探针卡(Vertical ProbeCard)或微机电探针卡(MEMS Probe Card)，其中悬臂式探针卡与垂直式探针卡为 目前业界的主要商品化探针卡，比如属于悬臂式探针的环氧树脂环探针卡(Epoxy Ring Probe Card)与开尔文探针(Kelvin Probe)。探针卡具有多个探针，每一探针对应芯片的一测试点，并用以接触或接近该测试 点，比如输出/输入焊垫，而探针的电气特性直接影响探针卡的整体测量质量与测试能力， 比如探针的阻抗特性会影响信号的阻抗匹配，且探针的针径大小直接影响可测量或可传送 的信号的电流或功本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，包括：多个探针，该些探针对应于待测试芯片的同一测试点，用以传送电信号，不同的探针具有相同或不同的针径，且由一外接的测试机控制该些探针为断路或导通。

【技术特征摘要】
1.一种提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，包括多个探针， 该些探针对应于待测试芯片的同一测试点，用以传送电信号，不同的探针具有相同或不同 的针径，且由一外接的测试机控制该些探针为断路或导通。2.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在 于，该测试点为待测试芯片的焊垫或凸块。3.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在 于，当该电信号为高电流或高功率信号时，该些探针中至少一较小针径的探针为断路而至 少一较大针径的探针为导通，或该些探针中部分相同针径的探针为导通而其余相同针径的 探针为断路，或所有不同针径或相同针径的该些探针为导通，而当该电信号为低电流或低 功率信号时，该些探针中至少一较小针径的探针为导通而至少一较大针径的探针为断路， 或部分相同针径的该些探针为导通而其余相同针径的探针为断路。4.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在 于，该些探针中相邻的探针之间具有间隙，用以间隔开，以避免发生短路。5.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在 于，该些探针中的每一探针被绝缘材料层包覆，露出该些探针的前缘部分，以避免发生短 路。6.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在 于，该些探针被绝缘材料层包覆并固定而形成一体，露出该些探针的前缘部分。7.根据权利要求1所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在 于，该些探针中至少二相邻的探针之间具有间隙，或该些探针中的至少一探针被绝缘材料 层包覆，以避免发生短路。8.根据权利要求5、6或7所述的提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特 征在于，该绝缘材料层包括环氧树脂。9.一种提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构，其特征在于，包括至少一探 针群组...

【专利技术属性】
技术研发人员：古仁丁，傅昶霖，薛明泰，张铭烨，
申请(专利权)人：励威电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]