下载提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构的技术资料

文档序号:5177511

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一种提供大电流与电压电位测量的悬臂式探针结构,包括多个不同针径的探针,并对应于待测试芯片的同一测试点,而该测试点可为待测试芯片的焊垫或凸块,用以传送待测试芯片的输入电信号或输出电信号,相邻探针间具有间隙,用以间隔开,或每一探针被绝缘材料层包...
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