大电流用探针制造技术

本发明专利技术提供一种能够不产生应变、疲劳破坏地长时间保持稳定的低电阻接触的大电流用探针。该大电流用探针在由导电体构成的基构件的顶端部设有导电用的接触构件，所述接触构件包括：固定部，其以与所述基构件的顶端部相接触的状态被固定于所述基构件的顶端部；以及多个腿部，其自所述固定部呈放射状突出，在将所述接触构件按压于被检体时，所述多个腿部被检体按压而扩开变形并与被检体相接触，在所述基构件的顶端部突出有止挡件，其在将所述接触构件向被检体按压预定距离时抵接于被检体而限制所述接触构件向被检体方向的移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测量电阻值、电压值等的大电流用探针。
技术介绍
以往，提供有一种能够通过使导电性的顶端部抵接于被检体而建立电连接并测量电阻值、电压值等的检查用的探针。尤其是对于大电流用(例如从数十安培到数百安培)的探针，为了抑制发热等需要确保接触面积，探针的顶端形成为在多点与被检体相接触。然而，由于在大气中使用检查对象的被检体，有时在被检体的表面层形成有氧化覆膜。另外，也有时进行例如铬酸盐处理等对电极构件等施加高电阻涂层。若如此自形成于被检体的表面层的氧化覆膜、高电阻涂层等高电阻覆膜之上按压探针，则由于接触电阻增大，因此无法确保低电阻的稳定的接触。由此，期望去除或者穿破高电阻覆膜而使探针的顶端接触被检体。例如在专利文献I中记载有如下方法:通过使探针的顶端形成锐利的多顶点的形状，并通过将该探针的顶端按于被检体的表面层而贯穿高电阻覆膜。然而，在使探针的顶端形成锐利的多顶点的形状的情况下，由于探针的顶端在连结了该锐利的多顶点而成的虚拟平面上与被检体的表面层相接触，因此无法跟随被检体表面的凹凸、倾斜等而改变接触点。因此，存在只能对应于没有倾斜的平滑表面、用途被限定的问题。另外，即使是没有倾斜的平滑表面，在存在小的纹路等的情况下也存在接触状态不稳定的问题。另外，由于必须将多个顶点加工成均等的高度，因此存在要求较高的加工技术而成本变高的问题。作为解决这样的问题的方法，专利文献2中提出了如下方法:在探针的顶端形成呈放射状分叉的多个接触部，用该多个接触部磨刷被检体的表面层而去除高电阻覆膜。采用这样的方法，多个接触部的各个接触部跟随被检体表面的凹凸、倾斜等而使接触点变化，因此即使在电极存在凹凸、倾斜的情况下也能够确保稳定的接触。另外，由于通过将各接触部向电极按压而进行磨刷，能够去除电极表面的高电阻覆膜，因此能够防止由于高电阻覆膜所导致的接触电阻的增大，从而能够确保低电阻的稳定的接触。并且，由于即使在探针顶端固定粘着有被检体的电极材料的情况下，也能够通过磨刷动作使该固定粘着着的电极材料剥离，因此能够防止接触电阻的增大，并且能够确保低电阻的稳定的接触。另外，由于能够利用冲压的冲切加工作为，因此能够廉价地进行制造。_7] 现有技术文献专利f献专利文献1:日本实开昭62 — 114366号公报专利文献2:日本特开2011 — 137791号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，由于上述的专利文献2记载的结构是通过使多个接触部弹性变形而磨刷被检体的表面层的结构，因此可能存在在接触部残留有无法恢复的应变、或者接触部疲劳破坏的这样的问题。如此，若接触部产生应变或者发生疲劳破坏，则无法实现稳定的低电阻接触。因此，本专利技术要解决的问题在于提供一种能够不产生应变、疲劳破坏地长时间保持稳定的低电阻接触的大电流用探针。_4] 用于解决问题的方案本专利技术是为了解决上述问题而做成的，其特征如下。技术方案I所记载的专利技术是在由导电体构成的基构件的顶端部设有导电用的接触构件的大电流用探针，其特征在于，所述接触构件包括:固定部，其以与所述基构件的顶端部相接触的状态被固定于所述基构件的顶端部；以及多个腿部，其自所述固定部呈放射状突出，将所述接触构件按压于被检体时，所述多个腿部被被检体按压而扩开变形并与被检体相接触，在所述基构件的顶端部突出有止挡件，其在将所述接触构件向被检体按压预定距离时抵接于被检体而限制所述接触构件向被检体方向移动。技术方案2所记载的专利技术，在上述技术方案I所记载的专利技术的技术特征的基础之上，其特征在于:所述止挡件突出设置于所述接触构件的中央附近。技术方案3所记载的专利技术，在上述技术方案I或2所记载的专利技术的技术特征的基础之上，其特征在于:所述止挡件能够用作四探针测量的电压测量用感测针。_9] 专利技术的效果技术方案I所记载的专利技术正如上述，在将接触构件按压于被检体时，多个腿部被被检体按压而扩开变形并与被检体相接触。即，由于多个腿部跟随电极的凹凸、倾斜而变形，因此能够不受电极的凹凸、倾斜影响地确保稳定的接触。另外，由于通过将各腿部的顶端按压于电极地进行磨刷，从而能够去除电极表面的高电阻覆膜，因此能够确保低电阻且稳定的接触。并且，即使在腿部的顶端固定粘着有被检体的电极材料的情况下，也能够通过磨刷动作使该固定粘着着的电极材料剥离，因此能够确保低电阻且稳定的接触。另外，由于能够利用冲压的冲切加工作为，因此能够廉价地进行制造。另外，即使在假设接触构件产生磨损、劣化的情况下，也仅更换接触构件即可，因此能够大幅降低大电流用探针的使用成本。并且，由于在所述基构件的顶端部突出有止挡件，其在将所述接触构件向被检体按压预定距离时抵接于被检体而限制所述接触构件向被检体方向的移动，因此腿部的变形量被限制，从而能够使腿部变形时产生的应力处于腿部的弹性范围内(优选的是疲劳极限内)。由此，即使在反复使用大电流用探针的情况下，也能够抑制应变、疲劳破坏，从而能够长时间保持稳定的低电阻接触。另外，技术方案2所记载的专利技术正如上述，所述止挡件突出设置于在所述接触构件的中央附近，因此能够使止挡件所发挥的变形抑制大致均等地作用于所有腿部。另外，技术方案3所记载的专利技术正如上述，所述止挡件能够用作四探针测量的电压测量用感测针，因此在四探针测量中也能够使用大电流用探针，并能够进行精度较高的测量。【附图说明】图1是大电流用探针的外观立体图。图2是圆形板(接触构件)的外观立体图。图3是大电流用探针的剖视图。图4是大电流用探针的局部放大剖视图。图5是表示利用腿部磨刷被检体的表面层的情形的说明图。图6是改变了腿部的数量的变形例的大电流用探针的侧视图。图7是使用了矩形板(接触构件)的变形例的大电流用探针的外观立体图。图8是矩形板(接触构件)的外观立体图。图9是变形例的大电流用探针的剖视图。图10是变形例的大电流用探针的局部放大剖视图。附图标记说曰月10、大电流用探针；11、套管；12、施力构件；13、柱塞(基构件)；13a、顶端部；13b、贯通孔；13c、后端部；14、圆形板(接触构件);14a、固定部；14b、圆孔；14c、腿部；15、止挡件；15a、平坦面；15b、突起；15c、轴部；15d、后端部；16、17、绝缘法兰盘；20、大电流用探针；21、板状构件(基构件)；21a、顶端部；22、矩形板(接触构件)；22a、固定部；22b、圆孔；22c、腿部；23、止挡件；25、四探针测量用探针；26、针引导部；27、针施力构件；28、连接部；30、被检体。【具体实施方式】参照【附图说明】本专利技术的实施方式。本实施方式的大电流用探针10通过使导电性的顶端抵接于被检体30而与被检体30建立电连接，并用于测量被检体30的电阻值、电压值等。如图1所示，该大电流用探针10通过在其顶端以多点与被检体30相接触而确保接触面积，即使在使用于大电流(例如从数十安培到数百安培)的情况下也能够抑制发热。如图1和图2所示，该大电流用探针10包括:套管11、施力构件12、柱塞13、圆形板14、止挡件15、以及绝缘法兰盘16、17。套管11是如图3所示的由导电体构成的筒状构件，在套管11的中空部以能够滑动的方式保持有柱塞13。该套管11是在例如合成树脂制的板形成孔并将该套管11贯穿该孔的状态下固定于合成树脂制的板来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大电流用探针，其在由导电体构成的基构件的顶端部设有导电用的接触构件，所述接触构件包括：固定部，其以与所述基构件的顶端部相接触的状态被固定于所述基构件的顶端部；以及多个腿部，其自所述固定部呈放射状突出，在将所述接触构件按压于被检体时，所述多个腿部被被检体按压而扩开变形并与被检体相接触，在所述基构件的顶端部突出有止挡件，该止挡件在将所述接触构件向被检体按压预定距离时抵接于被检体而限制所述接触构件向被检体方向的移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松田俊彦，加藤靖典，
申请(专利权)人：风琴针株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP