喷砂磨角机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种喷砂磨角机，包括：机架（１）；设置在所述机架（１）上的用于放置并旋转待加工工件的摩擦传动机构（２）和用于盛放研磨粉的沙箱桶（５２），所述沙箱桶（５２）和喷射研磨粉的喷嘴通过管路（５１）相连；设置在所述机架（１）上的用于调节所述喷嘴位置的调节机构（３）。本实用新型专利技术的动力源是气源三联件，通过气源三联件产生高压气流驱动沙箱桶内的研磨粉剂，通过喷嘴直接准确地切割硅片、玻璃、瓷制品，使制品达到机械切削所无法实现的几何尺寸和完美的技术指标。本实用新型专利技术可通过调节机构任意调节切割角度、操作灵活方便，比较于原手工制作工艺，不但大大提高了生产效率，而且提高了产品质量。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工设备
，更具体地说，涉及一种喷砂磨角机。
技术介绍
国内半导体企业的生产设备主要依赖进口，而且基本都是二手设备，价格昂贵。比 如多功能喷砂磨角机，从国外进口的价格是五十多万元人民币/台，硅元件压装机便宜也 是一百多万元/台，设备折旧与维修费用占硅片加工总成本的百分之五十，固资投入很大， 企业创利空间狭小。目前，为了减少固资投入，国内很多企业在硅片的加工工艺中，采用的是简单机械 加人工控制的原始工艺，其步骤是A、将研磨硅片的模具安装在电动旋转台上；B、开启电源，模具旋转；C、人工将硅片按在模具型框内；D、开启水砂喷管龙头；E、人工研磨，并观察研磨情况。上述工艺由于是通过操作人员手动控制水砂喷管龙头，会存在以下缺陷研磨不均勻，角度难于控制，致使硅片导电性能差，影响产品质量。因人的手感不 一样，特别是大于Φ50的硅片，易造成磨角不均勻和深度不一致的现象；工人作业，劳动环境差，劳动强度大；工作效率低，Φ 50的硅片每班作业平均8分钟一件，产量低，不能满足生产需要。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种喷砂磨角机，以提高硅片的研磨质量，降低工作 人员的劳动强度，提高工作效率。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案一种喷砂磨角机，包括机架；设置在所述机架上的用于放置并旋转待加工工件的摩擦传动机构和用于盛放研 磨粉的沙箱桶，所述沙箱桶和喷射研磨粉的喷嘴通过管路相连；设置在所述机架上的用于调节所述喷嘴位置的调节机构。优选的，在上述喷砂磨角机中，还包括和所述沙箱桶相连的振动装置，以及用于抽 走研磨粉尘的除尘器。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述沙箱桶通过弹簧设置在所述机架上。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述摩擦传动机构具体包括设置在所述机架上的电机；可转动的设置在所述机架上的磁盘；穿过所述磁盘的传动轴，该传动轴的一端设置有和所述电机相连的靠轮，另一端 设置有用于安装模具的模座。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述传动轴设置于靠近所述磁盘的边缘处，所述磁 盘上远离所述传动轴的位置处设有旋转手柄。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述调节机构具体包括安装支座，所述安装支座上开设有竖直方向的移动槽；设置在所述安装支座的安装杆，所述安装杆上设置有喷嘴安装盘；设置在所述安装支座上，调节所述喷嘴和所述待加工工件的竖直距离的上下调节 机构；设置在所述安装支座上，调节所述喷嘴和所述待加工工件之间夹角的角度调节机 构；设置在所述安装支座上，调节所述喷嘴和所述待加工工件的中心之间距离的直径 调节机构。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述上下调节机构具体包括第一旋钮；螺杆，该螺杆的一端和所述安装杆相连，另一端穿过所述安装支座的移动槽和所 述第一旋钮相连。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述角度调节机构具体包括同轴设置在所述喷嘴安装盘上的第一齿轮；—端和所述喷嘴安装盘上的第一齿轮啮合的齿条传动件；一端和所述齿条传动件相连的角度传动杆，该角度传动杆的另一端设有螺纹；和所述角度传动杆的螺纹端螺纹连接的第二旋钮。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述直径调节机构具体包括和所述安装杆相连的直径调节杆，所述直径调节杆上设有齿条轮齿；与所述直径调节杆上的齿条轮齿啮合的第二齿轮；与所述齿轮同轴设置的第三旋钮。优选的，在上述喷砂磨角机中，所述喷嘴安装盘上设有刻度。从上述的技术方案可以看出，本技术的动力源是气源三联件，通过气源三联 件产生高压气流驱动沙箱桶内的研磨粉剂，通过喷嘴直接准确地切割硅片、玻璃、瓷制品， 使制品达到机械切削所无法实现的几何尺寸和完美的技术指标。本技术可通过调节机 构任意调节切割角度、操作灵活方便，比较于原手工制作工艺，不但大大提高了生产效率， 而且提高了产品质量。本技术在半导体、玻璃、瓷制品加工以及金属表面的清洁处理等 领域都得到广泛应用。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的带有除尘器的喷砂磨角机的结构示意图；图2为本技术实施例提供的不带除尘器的喷砂磨角机的结构示意图；图3为本技术实施例提供的沙箱振动机构的结构示意图；图4为本技术实施例提供的摩擦传动机构的结构示意图；图5为本技术实施例提供的模具的结构示意图；图6为本技术实施例提供的调节机构的结构示意图；图7为图6的俯视图。具体实施方式本技术提供了一种喷砂磨角机，以提高硅片的研磨质量，降低工作人员的劳 动强度，提高工作效率。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-图3，图1为本技术实施例提供的带有除尘器的喷砂磨角机的结 构示意图；图2为本技术实施例提供的不带除尘器的喷砂磨角机的结构示意图；图3 为本技术实施例提供的沙箱振动机构的结构示意图。1为机架，2为摩擦传动机构，3为调节机构，4为除尘器，5为沙箱振动机构，51为 管路，52为沙箱桶，53为振动装置，54为弹簧。本技术提供的喷砂磨角机，包括机架1、摩擦传动机构2、沙箱桶52和调节机 构3。其中，机架1是本技术的支承部件，用于支撑其他部件。用于放置待加工工件并 旋转的摩擦传动机构2和用于盛放研磨粉的沙箱桶52均设置在所述机架1上，所述沙箱桶 52和喷射研磨粉的喷嘴通过管路51相连。使用时，沙箱桶52内的研磨粉通过气源三联件 产生的高压气流吹出，沿管路51进入喷嘴，从喷嘴喷出的高压气流及研磨粉对待加工工件 进行研磨加工。调节机构3设置在机架1上，用于设置和调节喷嘴的位置，从而使得不用人工操控 喷嘴进行研磨，而且可以调节喷嘴的研磨位置。优选的，本技术还可以包括用于抽走研磨粉尘的除尘器4。除尘器4能有效 地在工作室外内形成负压，将研磨粉从进风口吸入除尘器4的过滤室内的布质过滤袋中， 除尘器4的清灰机构使过滤袋产生瞬时横向高频震动，抖落附在布袋子上的粉尘落入积尘 箱，由人工定期清除箱内研磨粉尘，经过再加工返回工艺。本技术的动力源是气源三联件，通过气源三联件产生高压气流驱动沙箱桶52 内的研磨粉，通过喷嘴直接准确地切割硅片、玻璃、瓷制品等待加工工件，使制品达到机械 切削所无法实现的几何尺寸和完美的技术指标。本技术可通过调节机构3任意调节切 割角度、操作灵活方便，比较于原手工制作工艺，不但大大提高了生产效率，而且提高了产 品质量。本技术在半导体、玻璃、瓷制品加工以及金属表面的清洁处理等领域都可得到 广泛应用。本技术提供的沙箱振动机构5包括沙箱桶53以及和所述沙箱桶52相连的振6动装置53。通过振动装置53对沙箱桶53进行实时振动，促使高压气流与研磨粉有机混合， 产生高压研磨喷流至喷嘴对待加工工件实施有效的磨削，优选的振动装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷砂磨角机，其特征在于，包括：机架（１）；设置在所述机架（１）上的用于旋转待加工工件的摩擦传动机构（２）和用于盛放研磨粉的沙箱桶（５２），所述沙箱桶（５２）和喷射研磨粉的喷嘴通过管路（５１）相连；设置在所述机架（１）上的用于调节所述喷嘴位置的调节机构（３）。

【技术特征摘要】
1.一种喷砂磨角机，其特征在于，包括 机架⑴；设置在所述机架(1)上的用于旋转待加工工件的摩擦传动机构(2)和用于盛放研磨粉 的沙箱桶(52)，所述沙箱桶(5 和喷射研磨粉的喷嘴通过管路(51)相连； 设置在所述机架(1)上的用于调节所述喷嘴位置的调节机构(3)。2.如权利要求1所述的喷砂磨角机，其特征在于，还包括和所述沙箱桶(52)相连的振 动装置(53)，以及用于抽走研磨粉尘的除尘器(4)。3.如权利要求2所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述沙箱桶(52)通过弹簧(54)设置 在所述机架(1)上。4.如权利要求1所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述摩擦传动机构(2)具体包括 设置在所述机架(1)上的电机；可转动的设置在所述机架(1)上的磁盘02)；穿过所述磁盘0 的传动轴，该传动轴的一端设置有和所述电机相连的靠轮 (25)，另一端设置有用于安装模具03)的模座。5.如权利要求4所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述传动轴设置于靠近所述磁盘 (22)的边缘处，所述磁盘0 上远离所述传动轴的位置处设有旋转手柄04)。6.如权利要求1所述的喷砂磨角机，其特征在于，所述调节机构(3)具体包括 安装支座(34)，所述安装支座(34)上开设有竖直方向的移动槽；设置在所述安装支座(34)的安装杆，所述安装杆上设置有喷嘴安装盘(35)； 设置在所述安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：文春雷，刘邦，
申请(专利权)人：株洲敏锐机车配件有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：43[中国|湖南]