一种微机电电容式麦克风制造技术

本实用新型专利技术公开了一种微机电电容式麦克风，包括基底、背极板、支撑层和振膜，振膜包括振膜主体和与振膜主体相连的梁结构，振膜通过梁结构支撑在支撑层上，梁结构总体呈圆环状分布，分三层布置。本实用新型专利技术麦克风的梁结构设计有利于降低薄膜周边的集中应力，可使得麦克风性能更稳定，并提高了振膜灵敏度；同时大大提高振膜的第二阶模态的固有频率，从而大大降低了麦克风受外界高频信号干扰的风险。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种麦克风，具体是指一种微机电电容式麦克风。
技术介绍
麦克风，学名为传声器，由Microphone翻译而来，是将声音信号转换为电信号的 能量转换器件，也称作话筒或微音器。目前市场上销售的麦克风主要有动圈式、电容式、驻极体和最近新兴的微机电传 声器，此外还有液体传声器和激光传声器等。动圈传声器音质较好，但体积庞大。驻极体 传声器体积小巧，成本低廉，在电话、手机等设备中广泛使用。基于微机电(Micro Electro Mechanical System)技术的微机电麦克风体积更小，特别适合高性价比的应用。微机电 电容式麦克风是利用硅材料经过微加工形成的超薄的振膜来检测声压的，微机电麦克风能 够在芯片上集成一个模数转换器，形成具有数字输出的麦克风。由于大多数便携式应用最 终都会把麦克风的模拟输出转换为数字信号来处理，因此系统架构可以设计成完全数字式 的。这样一来，就从电路板上去掉了很容易产生噪音的模拟信号，并简化了总体设计。对于微机电麦克风，振膜的设计很关键，因为振膜直接影响到麦克风的性能。振膜 应结构中应尽量降低集中应力，这样有利于麦克风性能的稳定，同时可提高麦克风的灵敏本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电电容式麦克风，其特征在于：它包括基底（８１）、背极板（８２）、支撑层（８３）和振膜（８４），所述基底（８１）具有空腔，所述支撑层（８３）覆盖在基底（８１）上，所述支撑层（８３）也具有空腔，所述背极板（８２）嵌装在所述基底（８１）上，所述振膜（８４）整体呈圆形，其包括圆形的振膜主体（８４１）和与振膜主体（８４１）相连的环形的梁结构（８４２），所述梁结构（８４２）嵌装在所述支撑层（８３）的上部且覆盖支撑层（８３）的空腔，所述振膜主体（８４１）以平铺方式架装在所述梁结构（８４２）上，所述振膜（８４）与所述背极板（８２）上下相对，两者之间具有间隔。

【技术特征摘要】
1.一种微机电电容式麦克风，其特征在于它包括基底(81)、背极板(82)、支撑层(83) 和振膜(84)，所述基底(81)具有空腔，所述支撑层(8 覆盖在基底(81)上，所述支撑层 (83)也具有空腔，所述背极板(8 嵌装在所述基底(81)上，所述振膜(84)整体呈圆形，其 包括圆形的振膜主体(841)和与振膜主体(841)相连的环形的梁结构(842)，所述梁结构 (842)嵌装在所述支撑层(8 的上部且覆盖支撑层(8 的空腔，所述振膜主体(841)以平 铺方式架装在所述梁结构(84 上，所述振膜(84)与所述背极板(8 上下相对，两者之间 具有间隔。2.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于所述振膜(84)的梁结构 (842)为整体呈圆环状的三层...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙博华，王琳，
申请(专利权)人：孙博华，
类型：实用新型
国别省市：81