一种绝缘套管结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种绝缘套管结构，包括管体以及位于管体两端的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端通过支管连接洁净气体室，所述第二连接端连接远程等离子体源支持中心。所述第二连接端端面为正方形，其端面中间设置有密封环，用以防止气体泄漏。同时，第二连接端端面设置多个螺丝，端面各边的螺丝个数相等且均大于２个，螺丝等间隔分布，使连接面各边受力均匀，减小连接处的管道形变。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体晶圆生长技术，具体涉及一种提高晶圆生长平台中气体密 封性与防腐蚀性的绝缘套管结构，属于半导体

技术介绍
在晶圆生长平台中，需要使用多种化工溶剂或具有腐蚀性液体或气体，这些物质 极易使容器内壁受到腐蚀损坏，人们采用一种聚四氟乙烯绝缘套管连接等离子体源支持中 心与洁净气体室。由于聚四氟乙烯能抵挡所有强酸、强氧化剂、还原剂和各种有机溶剂的腐蚀，并能 在-80至220摄氏度与负压的苛刻条件下正常使用，故而常用在防腐蚀容器的设备中。又 由于聚四氟乙烯是乙烯分子中的氢原子被氟原子取代后生成的聚合物，有机氟聚合物具有 自润滑及低摩擦性能、不粘性、憎油憎水性、耐化学品性、耐热性等一系列优异的性能，因此 采用聚四氟乙烯可以保护容器内部免受腐蚀，且部分容器上需在容器壁上开设安装孔来设 置其他支管以满足设备需要。目前，在公开号为CN201066011Y的专利中将聚四氟乙烯作为管道衬里，再与支管 相连，连接处采用密封结构。这种结构可以实现上述的密封与防腐蚀特性，但是对管道及支 管在材料及形状上另有要求管道本体和支管接头内分别衬有聚四氟乙烯，管道本体上的 安装孔为锥形孔，该锥形孔的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种绝缘套管结构，包括管体以及位于所述管体两端的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端通过支管连接洁净气体室，所述第二连接端连接远程等离子体源支持中心，其特征在于，所述第二连接端端面为正方形，其端面中间设置有密封环用以防止气体泄漏。

【技术特征摘要】
1.一种绝缘套管结构，包括管体以及位于所述管体两端的第一连接端和第二连接端， 所述第一连接端通过支管连接洁净气体室，所述第二连接端连接远程等离子体源支持中 心，其特征在于，所述第二连接端端面为正方形，其端面中间设置有密封环用以防止气体泄漏。2.根据权利要求1所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述第二连接端通过若干螺丝 连接远程等离子体源支持中心，所述螺丝均勻分布在第二连接端表面各边靠近边缘处。3.根据权利要求2所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述螺丝距离所述第二连接端 正方形端面边缘距离为3mm 10mm。4.根据权利要求2所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述第二连接端正方形端面各 边上的螺丝个数相等且均多于两个，...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳小敏，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]