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改良的推板式连续气氛烧结炉结构制造技术

技术编号:5128941 阅读:256 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种改良的推板式连续气氛烧结炉结构,其主要是在推板式连续气氛烧结炉的内输送道两侧相对位置上设有侧轨,该两个侧轨内侧设有相对的内凹道,该两个相对的内凹道高度大于容置于内凹道的推板的厚度,两个相对的内凹道为推板的轨道,能维持推板的行进路线,该两个侧轨的中间,相对于两个侧轨的内凹道的水平位置,另设有底轨,推板位于底轨的上方,使推板行进更为顺畅,并能避免推板变形。借由本实用新型专利技术改良的推板式连续气氛烧结炉结构,可实现避免推板板翘及减少温度梯度而达到均温的功效,侧轨、底轨与推板的材质可选用石墨,可获得较佳的导热、耐热及润滑度。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于一种连续式气氛烧结炉,特别是一种内输送道炉床结构崭新设计的改良的推板式连续气氛烧结炉结构
技术介绍
目前,在电子元件或粉末冶金材料的工艺中,需导入不同的气氛气体于窑炉内烧 结或热处理,烧结或热处理是一个相当重要的工艺,因为烧结或热处理工艺攸关电子元件 或粉末冶金材料产品质量的好坏。先前以连续式气氛烧结炉来达到严控炉内烧结气氛的 要求,如中国台湾公开号为097204412的新型专利连续式真空气氛烧结炉与公开号为 093216847的新型专利推板式连续气氛烧结炉等。以公开号为093216847的专利为例,该 专利主要是由炉体、内输送道、外输送道及交换系统所构成,该内输送道设于炉体内部,并 连接设于炉体两侧的交换系统,外输送道设于炉体外部,并连接炉体两侧的交换系统,外输 送道作为置放待烧结电子元件载具的输送平台,该炉体为密闭式,并导入保护或反应用的 气氛气体,且依工艺区分有升温烧结段与冷却段,升温烧结段内具有耐热材及视烧结程序 所需温度的加热元件,冷却段具有冷却装置,设于炉体两侧的交换系统各具有两道气密门, 并形成交换室,当载具被送进炉体前,炉体头端的两道气密门为封闭,待交换室内抽成真空 并导入气氛气体直至与炉体内具有相同的气氛环境后,打开炉内侧气密门将载具推入炉体 内,当载具要送出炉体前,炉体尾端的两道气密门为封闭,且交换室内已经抽成真空并导入 气氛气体直至与炉体内具有相同的气氛环境后,打开炉内侧气密门将载具推入交换室内, 因此具有避免炉体内混入炉外空气从而提高电子元件等烧结热处理质量的功效。但是该在 先申请专利中的推板式连续气氛烧结炉,为避免板翘的缺点,其长度受到限制而不能太长, 且由于在电子元件粉末冶金粉体材料等产品的烧结热处理工艺中,为提高生产效率,必须 加大容体及加快速度。但若对容体增加过大,会受稳定度风险的影响,所以为提高生产效 率,只能加宽及加长炉体,为了使烧结热处理的温度梯度平均,采用了上、下加热方式(即 在待烧结热处理材料的上、下端放置有加热元件),公知技术中,由于推板是置于实心的炉 床上,下加热器产生的高温需要通过实心的炉床传递才能到达待烧结材料处,这样就会产 生上、下温度梯度不均的缺点,严重影响烧结质量。以上就是公知技术中存在的最大缺点, 该缺点成为业界亟待克服的难题。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的主要目的在于提供一种能够避免推板板翘、并能实现温 度梯度均匀效果的改良的推板式连续气氛烧结炉结构。 为达到上述目的,本技术提供的改良的推板式连续气氛烧结炉结构,其主要 是在推板式连续气氛烧结炉的内输送道两侧相对位置上设有侧轨,该两个侧轨内侧设有相 对的内凹道,该两个相对的内凹道高度大于容置于内凹道的推板的厚度,该两个相对的内 凹道为推板行进的轨道,能维持推板的行进路线。3 本技术提供的改良的推板式连续气氛烧结炉结构,其中,该两个侧轨的中间, 相对于两个侧轨的内凹道的水平位置,另设有底轨,推板位于底轨的上方,使推板行进更为 顺畅,并能避免推板变形。 借由本技术的改良的推板式连续气氛烧结炉结构,具有避免推板板翘及减少 温度梯度而达到均温的功效,且侧轨、底轨与推板的材质可选用石墨,可获得较佳的导热、 耐热及润滑度。附图说明图1为本技术改良的推板式连续气氛烧结炉结构的实施例截面图 附图标记说明 1 烧结炉10 内输送道 2 侧轨20 内凹道 3 推板 4 上加热器4'下加热器 5 匣钵 6 底轨具体实施方式为对本技术的结构、特征及所达到的功效获得更佳的了解,以及为达到本实 用新型前述的目的,现列举一实施例,并配合附图说明如后。 首先,请参阅图l所示,由图可知本技术主要是在推板式连续气氛烧结炉1的 内输送道10两侧相对位置上设有侧轨2,该两个侧轨2内侧设有相对的内凹道20,该两个 相对的内凹道20高度略大于推板3的厚度,以容置推板3,该两个相对的内凹道20成为推 板3行进的轨道,能维持推板3的行进路线,在本实施例图中,内输送道IO上端具有上加热 器4,下端具有下加热器4',待烧结材料是置于匣钵5内,匣钵5则置于推板3上。如此,因 为推板3两侧被限制于两侧的内凹道20中,因此可一块接一块的依序行进,绝不会有板翘 的情况发生,如此可依速度需要增加烧结炉的长度,又由于推板3下方为中空,下加热器4' 可直接对推板3加热,可达到减少温度梯度从而实现均温的功效。 又,本技术的两个侧轨2的中间,相对于两个侧轨2的内凹道20的水平位置, 另设有底轨6,推板3位于底轨6的上方,使推板3行进更为顺畅,且由于推板3底部具有支 撑点,能避免推板3变形。 本技术前述的侧轨2、底轨6及推板3的材质可选用石墨,可获得较佳的导热、 耐热及润滑度。如此而达到本技术设计的目的。 综上所述,本技术所揭露的一种改良的推板式连续气氛烧结炉结构可克服公 知技术中的缺点,并可实现设计的目的。 但是以上所述仅为本技术的其中一个较佳可行实施例而已,并非用以限定本 技术的保护范围,凡是熟悉该项技术的人,运用本技术说明书及权利要求所作的 等效结构变化,理应包括于本技术的保护范围之内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种改良的推板式连续气氛烧结炉结构,其特征在于,其主要是在烧结炉的内输送道两侧相对位置上设有侧轨,所述两个侧轨内侧设有相对的内凹道,所述两个相对的内凹道高度大于容置于所述内凹道的推板的厚度,所述两个相对的内凹道为所述推板行进、并维持所述推板行进路线的轨道。

【技术特征摘要】
一种改良的推板式连续气氛烧结炉结构,其特征在于,其主要是在烧结炉的内输送道两侧相对位置上设有侧轨,所述两个侧轨内侧设有相对的内凹道,所述两个相对的内凹道高度大于容置于所述内凹道的推板的厚度,所述两个相对的内凹道为所述推板行进、并维持所述推板行进路线的轨道。2. 如权利要求1所述的改良的推板式连续气氛烧结...

【专利技术属性】
技术研发人员:秦文隆
申请(专利权)人:秦文隆
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]

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