【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺,属于Z板籽晶切割技术 领域。
技术介绍
传统工艺在切割Z板籽晶时,专用的校角仪只能校正Z面Y向角差,而Z面X方向 的角差,只能靠Z板原晶自身的角度及切割设备的精度来控制,且传统切割工艺只能将X向 角差控制在士20'以内;当X向角差较大时,由于Z板籽晶的角度与Z板原晶板材Z面角度 不一致,在Z板原晶板材Z面加工到位以后,切下棒材的Z板籽晶存在偏斜现象,从图1中 可以看出,从Z板原晶1的-X面到+X面,Z板籽晶2的倾斜程度逐渐加大;为解决上述倾 斜问题,需控制Z板籽晶X向角差在10'以内。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术的不足,从而提供一种工艺简单、易于操作、产品质 量稳定、角度控制精确的Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺。本专利技术所采用的技术方案是一种Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺,它包括 以下步骤步骤1、对Z板籽晶块Z面进行加工,定向,测量Z板籽晶块Z面X向角差,加工需 使所有Z板籽晶块的Z面X向角差控制在士5'以内;步骤2、将朝向一个方向倾斜的Z板籽晶块分选,并将Z板籽晶块Z面X向角差按 照相差士1'进行分类;步骤3、将同类Z板籽晶块粘板,得到籽晶块粘砣体;粘板时,Z板籽晶块Z面紧靠 校角仪垂直靠板,并校正Z板籽晶块Z面Y向的角差至要求范围;步骤4、根据Z板籽晶块Z面X向角差和Z板籽晶块X向尺寸,计算Z板籽晶块倾 斜量,即,Z板籽晶块倾斜量等于Z板籽晶块X向尺寸乘以Z板籽晶块Z面X向角差的正切 值;步骤5、根据Z板籽晶块倾斜量,调整籽晶块粘砣体的角度,并用杠杆百分表测量Z 板籽晶块Z ...
【技术保护点】
一种Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺,其特征在于:该切割工艺包括以下步骤:步骤1、对Z板籽晶块Z面进行加工,定向,测量Z板籽晶块Z面X向角差,加工需使所有Z板籽晶块的Z面X向角差控制在±5′以内;步骤2、将朝向一个方向倾斜的Z板籽晶块分选,并将Z板籽晶块Z面X向角差按照相差±1′进行分类;步骤3、将同类Z板籽晶块粘板,得到籽晶块粘砣体;粘板时,Z板籽晶块Z面紧靠校角仪垂直靠板,并校正Z板籽晶块Z面Y向的角差至要求范围;步骤4、根据Z板籽晶块Z面X向角差和Z板籽晶块X向尺寸,计算Z板籽晶块倾斜量,即,Z板籽晶块倾斜量等于Z板籽晶块X向尺寸乘以Z板籽晶块Z面X向角差的正切值;步骤5、根据Z板籽晶块倾斜量,调整籽晶块粘砣体的角度,并用杠杆白分表测量Z板籽晶块Z面X向垂直度,使调整直至达到Z板籽晶块Z面X向切割角度的要求范围;步骤6、采用多刀机批量切割籽晶块粘砣体中的Z板籽晶块,要求多刀机工作台水平、多刀机的刀架支撑点水平、多刀机工作台上下运动的垂直度不超过0.02mm。
【技术特征摘要】
1. 一种Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺,其特征在于该切割工艺包括以下步骤步骤1、对Z板籽晶块Z面进行加工,定向,测量Z板籽晶块Z面X向角差,加工需使所 有Z板籽晶块的Z面X向角差控制在士5'以内;步骤2、将朝向一个方向倾斜的Z板籽晶块分选,并将Z板籽晶块Z面X向角差按照相 差士 1'进行分类;步骤3、将同类Z板籽晶块粘板,得到籽晶块粘砣体;粘板时,Z板籽晶块Z面紧靠校角 仪垂直靠板,并校正Z板籽晶块Z面Y向的角差至要求范围;步骤4、根据Z...
【专利技术属性】
技术研发人员:于钦涛,王济政,
申请(专利权)人:北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司,
类型:发明
国别省市:41[中国|河南]
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