保持器及包括保持器的基板收纳容器制造技术

一种保持器及包括保持器的基板收纳容器。利用从筐体（３２）的上下方向部（３４）向内侧突出的弹性片（３８），可限制基板位置，从而在基板的位置偏移的情况下，也可使基板的位置返回至原来位置。此外，设有两端部连结于筐体（３２）的左右方向部３６且在上下方向Ｚ延伸的连结片（４２），在该连结片４２）上设有向基板收纳容器的内侧突出的突出部（４４Ａ、４４Ｂ）。而且，通过使该突出部（４４Ａ、４４Ｂ）为具有沿与基板交叉的方向倾斜且能够与基板的周缘抵接的倾斜面（４４ｅ、４４ｆ）的结构，利用该倾斜面（４４ｅ、４４ｆ），引导基板，降低基板的磨擦，限制基板的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是有关于一种保持半导体晶圆、光罩玻璃、薄膜附着的光罩玻璃、薄膜 等的基板的保持器，以及包括保持器的基板收纳容器。
技术介绍
做为基板的输送使用的基板收纳容器，已知有专利文献一、二所揭示的基板收 纳容器。如此的基板收纳容器，具有例如在前侧的正面形成开口部而在内部收纳基板 的容器本体；可开闭该容器本体的开口部的盖体；以及在该盖体的内壁面安装，保持基 板的前部周缘，在与容器本体之间夹持基板的保持器。在该保持器上，保持基板的保持 沟在前端部形成的多个弹性片，对应于每个基板而设有各一对，该一对弹性片是沿基板 配置。此外，根据需要，也有对应于一个弹性片而形成多个保持沟的结构，或是盖体的 中央部侧形成有其它弹性片以及保持沟的结构等。而且，盖体是手动或由盖体开闭装置 嵌合于容器本体或拆除。此外，在保持器上设有例如卡止突起或卡止凹部等卡止部。通 过将保持器的卡止部嵌入对方侧的卡止部，保持器固定于盖体(或容器本体)。先行技术文献特许文献1 日本特开2002-353301号公报特许文献2 日本特开2005-320028号公报专利技术所欲解决的课题上述现有技术中，例如由装置自动搬送时，由作业员手动搬送时，当因落下等 对基板收纳容器施加大冲击时，弹性片大幅挠曲，随着其反作用弹性片发生起伏，导致 基板从保持沟脱落而破损，即使未破损也有因基板与基板收纳容器的磨擦而产生微粒而 造成基板污染的危险。此外，做为冲击施加时的对策，将保持沟的形状做成例如V字形，沟的深度加 深，以及沟的宽度变窄是为有效，然而，在此情况下，因基板与保持沟接触而导致的磨 擦变多，有基板容易污染的问题，基板夹在保持沟的问题也可能发生。
技术实现思路
本专利技术是为解决上述课题而做成，目的在于提供一种保持器可将基板稳定保 持，并可降低基板污染的危险的保持器，以及包括该保持器的基板收纳容器。解决课题的手段本专利技术的保持器，设置在收纳基板的基板收纳容器上，保持板厚方向沿上下方 向且以一定间隔被整列地支撑的基板，其特征在于，包括筐体，具有在上下方向延伸 的一对上下方向部以及在与一对上下方向部交叉的左右方向延伸的一对左右方向部；弹 性片，从上下方向部向内侧突出，能够限制所述基板的位置；连结片，在上下方向延 伸，且两端部连接于所述左右方向部；以及突出部，形成有沿与基板交叉的方向倾斜且 能够与所述基板的周缘抵接的倾斜面，从连结片向所述基板收纳容器的内侧突出。根据如此的保持器，利用从筐体的上下方向部向内侧突出的弹性片，可限制基 板的位置，因此即使在基板的位置偏移的情况下，也可由弹性片将基板的位置返回至原 来位置。此外，包括两端部连结于筐体的左右方向部且在上下方向延伸的连结片，在该 连结片上形成有向基板收纳容器的内侧突出的突出部。该突出部是具有沿与基板交叉的 方向倾斜且能够与基板的周缘抵接的倾斜面的结构，因此由该倾斜面，可容易地引导基 板，降低基板的磨擦，可限制基板的位置。此外，突出部优选为，在上下方向配置在邻接的基板之间，倾斜面具有在上 端形成且能够抵接一个基板的第一倾斜面；以及在下端形成且能够抵接另一基板的第二 倾斜面的结构。根据如此的结构，由配置在基板间的一个突出部，可引导在上下方向邻 接的两个基板。此外，突出部优选为，在上下方向设置在基板的两侧，设置在基板两侧的突出 部被配置为在上下方向形成大于基板的板厚的间隙的结构。根据如此的结构，在基板被 整列配置的通常状态中，基板不会与突出部抵接，只有在基板偏移的情况下，才能够使 基板与突出部抵接，可降低基板与突出部的磨擦，而抑制微粒的产生。此外，设置在基板两侧的突出部优选在左右方向配置在不同的位置。由此，基 板不会被设置在基板两侧的突出部夹住。此外，也可构成为具有接受部，该接受部从连结片向外侧突出，能够与安装有 筐体的盖体抵接，以限制所述连结片的移动。此外，接受部优选形成在连结片的中央， 且比筐体更向壁体侧的外方突出。由此，可限制连结片的移动，并限制突出部的位置。此外，本专利技术的基板收纳容器，其特征在于，包括容器本体，具有开口部以 收纳基板；盖体，关闭开口部；以及上述保持器，安装于容器本体的内壁或盖体上。根据如此的基板收纳容器，利用从筐体的上下方向部向内侧突出的弹性片，可 限制基板的位置，因此即使在基板的位置偏移的情况下，也可由弹性片使基板的位置返 回至原来位置。此外，包括两端部连结于筐体的左右方向部且在上下方向延伸的连结 片，在该连结片上形成有向基板收纳容器的内侧突出的突出部。该突出部是具有沿与基 板交叉的方向倾斜且能够与基板的周缘抵接的倾斜面的结构，因此利用该倾斜面，可容 易地引导基板，降低基板的磨擦，并可限制基板的位置。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种可降低基板的磨擦并限制基板的位置，因此将基板 稳定保持，并可降低基板污染的危险的保持器，以及包括该保持器的基板收纳容器。附图说明图1是本专利技术第一实施形态的基板收纳容器的分解立体图。图2是图1所示的基板收纳容器沿II-II线的横剖视图。图3是安装有图1中的保持器的盖体的背面图。图4是图3中的保持器的立体图。图5是扩大显示图3所示的保持器的正面图。图6是图3沿VI-VI线的剖面图。图7是显示装配在容器本体的盖体、安装于该盖体的保持器、以及在基板收纳容器内保持的基板的部分剖视图。图8是显示本专利技术第二实施形态的保持器、盖体、基板的部分剖视图。图9是显示本专利技术第三实施形态的保持器、盖体、基板的部分剖视图。图10是显示本专利技术第四实施形态的保持器的部分正面图。图11是显示本专利技术第五实施形态的保持器的部分正面图。图12是显示本专利技术变形例的保持器的部分正面图。图13是显示本专利技术第一实施形态的变形例的保持器的部分侧视图。具体实施例方式以下请参照附图，说明本专利技术的保持器以及包括保持器的基板收纳容器的合适 的实施形态。此外，在附图的说明中，对相同或相当的元件标示以相同符号，并省略重 复的说明。图1是本专利技术第一实施形态的基板收纳容器的分解立体图，图2是图1所示 的基板收纳容器沿II-II线的横剖视图。图1以及图2所示的基板收纳容器1是，收容一枚或多枚(例如6、13、25枚) 基板W，基板W的输送、搬送、保管等使用的收纳容器。基板收纳容器1包括在正面形 成将基板W在前后方向Y可出入的开口部3、在上下方向Z以一定间隔将基板W整列收 纳的容器本体2 ；以及嵌入于该容器本体2的开口部3的自由装卸的盖体4。盖体4在前后方向Y具有既定的厚度，将在开口部3的对向的一对的周缘卡止的 卡止机构(加锁机构)15可出没地内藏。该卡止机构15根据从盖体4外部的操作出没， 可将在开口部3嵌入的盖体4加锁。此外，在盖体4的侧壁的周缘，装配有密封垫16(参 照图3)。通过将装配有密封垫16的盖体4安装在开口部3，由卡止机构15加锁，可将 基板收纳容器1的内成为密闭状态。此外，在盖体4的背面侧(基板收纳容器的内面)， 安装有将多个基板W在上下方向水平并排支撑的保持器8。此外，保持器8的详细说明 如后所述。基板收纳容器1内收容的基板W，由例如直径300mm的圆盘状的硅晶圆构成， 基板W的表里两面分别被镜面加工。基板W在由专用的机器手臂夹持左右的侧部周缘 的状态下，在容器本体2内出入。在基板W的周缘，形成有使结晶方向的判别或整列容 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种保持器，设置在收纳基板的基板收纳容器上，保持板厚方向沿上下方向且以一定间隔被整列地支撑的基板，其特征在于，包括：　　筐体，具有在上下方向延伸的一对上下方向部以及在与所述一对上下方向部交叉的左右方向延伸的一对左右方向部；　　弹性片，从所述上下方向部向内侧突出，能够限制所述基板的位置；　　连结片，在上下方向延伸，且两端部连接于所述左右方向部；以及　　突出部，形成有沿与所述基板交叉的方向倾斜且能够与所述基板的周缘抵接的倾斜面，从所述连结片向所述基板收纳容器的内侧突出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：细井正人，中山孝行，
申请(专利权)人：信越聚合物株式会社，
类型：发明
国别省市：JP