可调角度百叶窗式节流阀制造技术

可调角度百叶窗式节流阀是用在真空镀膜系统中的，它包括动力源和阀体本体，动力源包括步进电机和由步进电机带动的齿轮，齿轮包括小齿轮和大齿轮，大齿轮固接阀体本体的引出轴；阀体本体还包括有多片节流板，所有节流板通过连接杆连接在一起，中间位置的节流板一端固接引出轴，另一端固接转轴，除中间位置的其它节流板两端都固接有转轴；步进电机带动齿轮转动，齿轮带动引出轴，并且带动所有节流板同时进行转动，节流板转过不同角度，在真空接口处形成不同的流导，可以实现不同的充气量，真空度稳定在某一相同值；采用多块节流板，可以减小节流板回转半径，减小装配空间。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种可调角度百叶窗式节流阀，尤其是一种应用于真空镀 膜机上稳定真空气压的节流阀。
技术介绍
在真空离子镀膜机工作中，充工艺气体，要求真空度在O. 1 1Pa时保持稳 定的压强。在行业内有种解决方法 一种在主泵与抽气口之间加旁通阀；另一种 方法在主阀与室体之间加节流阀。前者成本高，占空间大；后者成本低，安装在 炉内，不占外部空间。目前现有真空离子镀膜机镀膜时，要求真空度抽到很高时，再向真空室里充 入工艺气体，充一定量的气体后，要求真空度稳定在某个值，这个值一般在O. l 1Pa之间。而在这个真空度范围内，传统扩散泵抽速不稳定，而且会把大量工艺 气体抽走，使工艺无法进行。中国专利CN2206299所述的抽真空装置采用传统的 扩散泵。中国专利CN2480563公布了一种双燃料引擎进气节流阀，其由步进电机 作为动力源，带动蝶阀的开闭，但是如果将其应用到真空稳定度要求高的镀膜机 设备中就不能有效改变真空接口处的气体流导。
技术实现思路
本技术解决的问题是提供一种可调角度百叶窗式节流阀，通过步进电 机带动阀体本体的转轴转动，通过转轴转动使节流板旋转，从而改变真空接口处 的流导，降低泵对工艺气体的抽除量。为解决上述问题，本技术的可调角度百叶窗式节流阀包括动力源和阀 体本体，动力源包括步进电机和由步进电机带动的齿轮，齿轮包括小齿轮和大齿 轮，大齿轮固接阀体本体的引出轴；阀体本体包括有多片节流板，所有节流板通 过连^杆连接在一起，中间位置的节流板一端固接引出轴，另一端固接转轴，除 中间位置的其它节流板两端都固接有转轴；节流板是对称形状的平板；多片节流 板的数量为三片或三片以上，总数量为奇数个；节流板的转动是由引出轴的带动 的，并且同时进行转动，节流板转过不同角度，在真空接口处形成不同的流导， 可以实现不同的充气量，真空度稳定在某一相同值；采用多块节流板，可以减小 节流板回转半径，减小装配空间。步进电机是本装置的动力源，步进电机的转动带动小齿轮，小齿轮啮合大齿 轮，大齿轮将扭矩传递给引出轴，引出轴的转动实现节流阀的开关。步进电机通 过步进电机控制器驱动。步进电机控制器把PLC发出的脉冲信号加以放大驱动步 进电机。步进电机的转速与脉冲信号的频率成正比，控制步进脉冲信号的频率， 可以对电机精确调速；控制步进脉冲的个数，可以对电机精确定位。本装置结构简单，占空间位置小。采用步进电机控制，可以对节流阀的开关 位置定位，克服了传统汽缸控制对中间过程不能控制的弱点。采用齿轮传动，装 配简单，控制精度高。节流板采用多片可旋转式对称平板同时转动实现控制气体 流导，所以称之为百叶窗式节流阀。以下结合附图和具体实施方式对本技术做进一步的详细的说明 附图说明图1为本技术节流阀体装配图。 图2为本技术的节流板示意图。图3为本技术的阀体本体转轴旋转90度时的轴向视图。 图4为本技术的动力源装置图。具体实施方式如图1所示，动力源23固接引出轴1，引出轴1固接中间位置的节流板5， 中间位置的节流板5的另一端通过螺栓固接在轴承4上，只能转动，传递扭矩， 所有节流板5通过连接杆8连接在一起，引出轴1的转动带动中间位置的节流板 5翻转并带动其它节流板5 —起转动达到节流目的；阀体本体的框架由平行放置 的横钢3和立钢2的端部固接构成。如图2所示，节流板5通过螺栓6锁固在转轴上，各距两边三分之一位置， 对称分布着四个固定螺栓的缺口，对应的螺栓7螺紧在节流板5上。如图3所示，当节流板5转动90度角度时，节流板5横截面垂直于立钢2, 此时连接杆8穿过固定座9，平行于立钢2，固定座9固定于节流板上，并由螺 栓7固定在节流板的缺口间，可旋转。如图4所示，步进电机20固定在连接板21上，连接板21通过螺栓10紧 固于固定板ll上，步进电机20的启动，带动套接在步进电机20外轴上的小齿 轮12，小齿轮12带动与其周边啮合的大齿轮18，同时大齿轮18带动固接在一 起的引出轴l，大齿轮18与引出轴1端部采用螺钉19锁紧固接，引出轴l穿过 嵌于座体14内侧的深沟球轴承16，深沟球轴承16通过骨架胶封15密封，密封效果好，转动灵活；压盖13套接在座体14的外围，大齿轮的转动将扭矩传递给 引出轴l，弓l出轴l的转动带动节流阀5围绕轴承4以一定角度的转动，达到节 流的目的。步进电机固定连接板21上，连接板21通过螺栓10固定在固定板上，步进 电机20通过步进电机控制器驱动，步进电机控制器把PLC发出的脉冲信号加以 放大驱动步进电机20，步进电机20的转速与脉冲信号的频率成正比，控制步进 脉冲信号的频率，可以对步进电机20精确调速；控制步进脉冲的个数，可以对 电机精确定位。本实施例中，节流板为长方形平板，但不限于长方形，对称结构的平板都在 权利要求保护的范围，依靠引出轴的转动带动其转动，多块节流板通过连接杆连 接在一起，实现多块节流板的同时转动，节流板转过不同角度，在真空接口处形 成不同的流导，可以实现不同的充气量真空度稳定在某一相同值。采用多块节流 板，可以减小节流板回转半径，减小装配空间。本装置相对已有装置，结构简单，占空间位置小，采用步进电机控制，可以 对节流阀的开关位置定位，克服了传统汽缸控制对中间过程不能控制的弱点。采 用齿轮传动，装配简单，控制精度高。权利要求1、可调角度百叶窗式节流阀，包括动力源和阀体本体，特征是所述动力源(23)包括步进电机(20)和由步进电机(20)带动的齿轮；所述阀体本体包括有多片节流板(5)，所有节流板(5)通过连接杆(8)连接在一起，中间位置的节流板(5)一端固接引出轴(1)，另一端固接转轴(4)，除中间位置的其它节流板(5)两端都固接有转轴(4)。2、 根据权利要求1所述的可调角度百叶窗式节流阀，其特征在于所述齿轮为小 齿轮(12)啮合大齿轮(18)。3、 根据权利要求2所述的真空镀膜机可调角度百叶窗式节流阀，其特征在于所述 大齿轮(18)轴心固接引出轴(1) 一端。4、 根据权利要求1所述的可调角度百叶窗式节流阀，其特征在于所述节流板(5) 是对称形状的平板。5、 根据权利要求1所述的可调角度百叶窗式节流阀，其特征是节流板(5)的数 量不少于三片，总数量是奇数个。专利摘要可调角度百叶窗式节流阀是用在真空镀膜系统中的，它包括动力源和阀体本体，动力源包括步进电机和由步进电机带动的齿轮，齿轮包括小齿轮和大齿轮，大齿轮固接阀体本体的引出轴；阀体本体还包括有多片节流板，所有节流板通过连接杆连接在一起，中间位置的节流板一端固接引出轴，另一端固接转轴，除中间位置的其它节流板两端都固接有转轴；步进电机带动齿轮转动，齿轮带动引出轴，并且带动所有节流板同时进行转动，节流板转过不同角度，在真空接口处形成不同的流导，可以实现不同的充气量，真空度稳定在某一相同值；采用多块节流板，可以减小节流板回转半径，减小装配空间。文档编号C23C14/56GK201427991SQ20092013306公开日2010年3月24日 申请日期2009年6月25日 优先权日2009年6月25日专利技术者强 张, 宇 王 申请人:深圳市振恒昌实业有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
可调角度百叶窗式节流阀，包括动力源和阀体本体，特征是：所述动力源（２３）包括步进电机（２０）和由步进电机（２０）带动的齿轮；所述阀体本体包括有多片节流板（５），所有节流板（５）通过连接杆（８）连接在一起，中间位置的节流板（５）一端固接引出轴（１），另一端固接转轴（４），除中间位置的其它节流板（５）两端都固接有转轴（４）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王宇，张强，
申请(专利权)人：深圳市振恒昌实业有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]