【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种形成器件的方法,该器件具有:基板,其上沉积有或多层,该器件具有腔体,其嵌入该基板和该一或多层之间;以及第一通道,其延伸至该腔体,该方法包括下列步骤: 从一或多个基板和该一或多层移除材料,及在该第一通道中重新沉积上述移除的材料,以密封该第一通道。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:迈克雷诺,
申请(专利权)人:卡文迪什动力有限公司,
类型:发明
国别省市:GB[英国]
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