一种抽真空节能装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种抽真空节能装置，特别涉及工业生产节能领域。本实用新型专利技术要解决的技术问题是提供一种能节约能源且不影响真空度的抽真空节能装置。包括第一套抽真空装置，其包括真空泵、扩散泵和一对罗茨泵，所述真空泵的输出端分别通过罗茨泵和另一个罗茨泵与真空室连接，且在所述罗茨泵的输出端串联有扩散泵；第二套抽真空装置，其包括真空泵和一对罗茨泵，所述真空泵的输出端分别通过罗茨泵与真空室连接；在所述第一套抽真空装置的真空泵输出端与第二套抽真空装置的真空泵输出端之间连接有管道。通过在数个真空泵的输出端之间连接管道，再关闭部分真空泵，有效的解决了罗茨泵在没有前级泵不能工作的要求，减少满载真空泵的数量，减少了能源浪费。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种抽真空节能装置，包括第一套抽真空装置，其包括真空泵、扩散泵和一对罗茨泵，所述真空泵的输出端分别通过罗茨泵和另一个罗茨泵与真空室连接，所述扩散泵串联在罗茨泵与真空室之间；第二套抽真空装置，其包括真空泵和一对罗茨泵，所述真空泵的输出端分别通过罗茨泵与真空室连接；其特征在于：在所述第一套抽真空装置的真空泵输出端与第二套抽真空装置的真空泵输出端之间连接有管道；所述管道上串联有电磁阀，所述第二套抽真空装置的真空泵输出端装有另一电磁阀；在所述真空室上装有真空度传感器，所述真空度传感器通过可编程控制器与所述两只电磁阀及第二套真空泵连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖海林，章肖飞，
申请(专利权)人：南通海林电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]