压电／电致伸缩元件及其制造方法技术

一种压电／电致伸缩元件，其具备具有压电／电致伸缩体的压电／电致伸缩驱动部、以及配设于压电／电致伸缩体的至少一个表面上的并且实质上不含玻璃成分的膜状的外部端子电极；外部端子电极为层叠结构的电极，该层叠结构具备有与压电／电致伸缩体接触而配设并且由含有第一金属成分和压电／电致伸缩材料的第一电极材料形成的第一电极层、以及由含有第二金属成分且实质上不含压电／电致伸缩材料的第二电极材料形成的第二电极层；第一金属成分和第二金属成分为构成元素相同的金属成分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适宜作为超声波电动机等的。
技术介绍
以往，通过使用压电/电致伸缩材料(也称为压电/电致伸缩陶瓷组合物、压电/ 电致伸缩陶瓷等)制造的层叠型的压电/电致伸缩元件，由于对于电信号的应答速度非常 高，因此被用于压电执行器、过滤器、压电共振器(包括谐振器)、超声波振荡器、超声波电 动机、压电传感器等电子制品。作为关联的现有技术，在专利文献1中公开了一种层叠型的压电执行器，其通过 在以压电用陶瓷材料为主成分的生片(green sheet)和内部电极交互地层叠而烧结的烧成 体上，配设绝缘体、外部电极以及导线而获得。而且，为了防止从生片的剥离，在专利文献1 中所公开的压电执行器的内部电极中，按照规定比例而含有银钯合金材料和压电用陶瓷材 料。另外，从防止从电介质层(压电陶瓷层)的剥离的观点考虑，专利文献2和3中也 同样地，分别公开了如下层叠压电体，即在多次层叠了层叠芯片部件和压电陶瓷层的层叠 体上设置了由按照规定比例含有银的银钯合金而形成的电极层的层叠压电体，该层叠芯片 部件使用了含有与电介质层性质大致相同的陶瓷粉末的内部电极层。如此，现在已知有通过在电极材料中配合压电/电致伸缩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：植谷政之，伊藤阳彦，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP