【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种金属电镀阴极旋转装置，由驱动器、上联轴器、下联轴器、伸缩连杆、石墨电刷、阴极夹具、机座和基板构成，其特征在于：所述的驱动器固定在所述的机座上，机座设置在所述的基板上，驱动器的输出轴与水平面呈０到９０度之间的夹角，驱动器的输出轴与所述的上联轴器连接，所述的下联轴器与上联轴器连接，下联轴器与上联轴器之间设置有绝缘板，所述的石墨电刷通过刷座与下联轴器接触，所述的伸缩连杆的上端与下联轴器连接，伸缩连杆的下端与所述的阴极夹具固定连接，石墨电刷与阴极夹具之间设置有电连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，黄利松，黄春杰，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。