微通道板电性能动态测试台制造技术

本实用新型专利技术包括工作台，其特征在于：在所述的安装台上安装有观察系统、真空工作室、电子发射系统、真空系统、人机界面系统、电性能参数获取系统、真空控制系统、工转系统和电源系统；所述的电源系统分别与真空系统、真空控制系统、电子发射系统、电性能参数获取系统和人机界面连接；所述的真空室与真空系统连接，其下部安装有工转系统；所述的电子发射系统与真空工作室相通；所述的观察系统位于真空工作室的上方。本实用新型专利技术结构设计合理，功能实用，观测准确。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种微通道板电性能动态测试台，主要用于测试微通道板的动态电性能。
技术介绍
微通道板是一种特殊的电子倍增元件，其生产制造过程的质量必须通过电性能动 态测试分析才能得出结论。由于我国微通道板研究开发基础薄弱，微通道板制造和测试分 析设备缺乏，测试微通道板电性能的设备功能不完善、测试不准确，这阻碍了微通道板的研 究和制造，特别是高性能微通道板的研究制造。 现有技术中测试微通道板电性能设备中的电子发射系统采用电子枪，但由于电子 枪的固有特点启动需要在高真空条件下较长时间预热、解除真空状态电子枪需要较长时 间冷却，这种低效率给生产造成了很大的不便，成为制约微通道板制造规模的主要因素。另 外，每块微通道板的测试夹具都装有荧光屏，这不仅制造工艺复杂，而且成本高昂，夹具清 洗更换困难。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理、可动态测试微通道板电性能的微通道板电性能动态测试台。本技术解决上述问题所采用的技术方案是一种微通道板电性能动态测试台，包括工作台，其特征在于在所述的安装台上安装有观察系统、真空工作室、电子发射系统、真空系统、人机界面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微通道板电性能动态测试台，包括工作台，其特征在于：在所述的安装台上安装有观察系统、真空工作室、电子发射系统、真空系统、人机界面系统、电性能参数获取系统、真空控制系统、工转系统和电源系统；所述的电源系统分别与真空系统、真空控制系统、电子发射系统、电性能参数获取系统和人机界面连接；所述的真空室与真空系统连接，其下部安装有工转系统；所述的电子发射系统与真空工作室相通；所述的观察系统位于真空工作室的上方。

【技术特征摘要】
一种微通道板电性能动态测试台，包括工作台，其特征在于在所述的安装台上安装有观察系统、真空工作室、电子发射系统、真空系统、人机界面系统、电性能参数获取系统、真空控制系统、工转系统和电源系统；所述的电源系统分别与真空系统、真空控制系统、电子发射系统、电性能参数获取系统和人机界面连接；所述的真空室与真空系统连接，其下部安装有工转系统；所述的电子发射系统与真空工作室相通；所述的观察系统位于真空工作室的上方。2. 根据权利要求1所述的微通道板电性能动态测试台，其特征在于所述的电子发射系统包括夹件、石英玻璃窗、Au-Ag电极、紫外线发射系和微通道板，所述的微通道板安装在夹件内，石英玻璃窗正对...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈楠，
申请(专利权)人：杭州千盟光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]