【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微通道板的实体边玻璃。
技术介绍
微通道板(简称为MCP)是由可多达数百万个规则紧密排列的细微空心玻璃管组成的通道式电子倍增器件，是由铅硅盐酸玻璃的表面还原特性和良好的融合光纤加工制造的。作为上述电子倍增器的MCP，其检测对象以电子，离子，X射线等，且有小型重量轻的特点，而且具有优异的高增益性。由于MCP的形状如一聚集了上百万个细微的平行空心玻璃管的薄圆片，所以它的机械特性主要靠实体边玻璃来得到保证。近年来由于对MCP高分辨率、高速应答性等特性要求的进一步提高，一直希望MCP的通道直径缩小，直径小于6um或通道的间距缩短，随之 MCP的厚度也相应变薄，而这些都对MCP机械特性造成影响，更提高了对实体边玻璃的要求。MCP传统工艺采用玻璃多纤维拉制工艺，其工艺过程包括单丝拉制一复丝拉制一熔压一切割、研磨、抛光一化学腐蚀一氢还原一镀膜一检测，在这一工艺过程中前期涉及有三种玻璃，如图1所示，为实体边玻璃1、通道基板玻璃2 (铅硅酸盐玻璃)、通道内玻璃3 (易溶的镧系玻璃，此玻璃在化学腐蚀过程中被溶掉)。在氢还原过程中通道基板玻璃2的表面被还原出原子铅...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈楠，缪坤治，
申请(专利权)人：杭州千盟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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