气动阀控制砂浆流量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶体的切片过程中的砂浆流量控制装置，特别是一种气动阀控制砂浆流量装置。该气动阀控制砂浆流量装置结构如下：砂浆搅拌桶与砂浆主管道连通，砂浆搅拌桶与砂浆副管道连通；砂浆主管道与砂浆第一支管道、砂浆第二支管道、砂浆第三支管道、砂浆第四支管道、砂浆第五支管道分别连通；其中：砂浆副管道通过气动阀与砂浆第一支管道、砂浆第二支管道、砂浆第三支管道、砂浆第四支管道、砂浆第五支管道分别连通；能感受进线和回线信号的感应装置安装在气动阀侧面，感应装置通过导线与气动阀连接。本实用新型专利技术的优点：感应装置和气动阀联合使用，可根据需要调整切割时的不同流量的砂浆，以达到切割硅片厚度的均匀性。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶体的切片过程中的砂浆流量控制装置，特别是一种 气动阀控制砂桨流量装置。
技术介绍
在现有晶体的切片过程中，利用钢线带动砂桨进行切割作业。在进线和回 线组成的双向走线的工艺下，由于砂浆的流量不变。在走新的进线时对硅片的 磨削量和回旧线时对硅片的磨削量不一致。这样易造成硅片的片间厚度的差异 过大。如果厚度差异超过一定范围，视为不合格产品。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种气动阀控制砂浆流量装置。 本技术的技术方案为气动阀控制砂浆流量装置，砂浆搅拌桶与砂浆主管道连通，砂桨搅拌桶与 砂浆副管道连通；砂浆主管道与砂浆第一支管道、砂浆第二支管道、砂浆第三 支管道、砂浆第四支管道、砂浆第五支管道分别连通；其中砂浆副管道通过 气动阀与砂浆第一支管道、砂浆第二支管道、砂浆第三支管道、砂桨第四支管 道、砂浆第五支管道分别连通；能感受进线和回线信号的感应装置安装在气动 阀侧面，感应装置通过导线与气动阀连接。砂浆第一支管道、砂浆第二支管道 分别平行的分布在第一块硅锭外侧；砂浆第四支管道、砂浆第五支管道分别平 行的分布在第二块硅锭外侧；砂浆第三支管道平行的分布在第一块硅锭和第二 块硅锭之间。本技术的优点感应装置和气动阀联合使用，可根据需要调整切割时 的不同流量的砂浆，以达到切割硅片厚度的均匀性。附图说明附图1是本技术的结构示意图。附图标记砂浆第一支管道l、砂浆第二支管道2、砂浆第三支管道3、 砂浆第四支管道4、砂浆第五支管道5、砂浆主管道6、砂浆副管道7、砂浆搅 拌桶8、感应装置9、气动阀IO、硅锭ll、进线12、回线13。具体实施方式实施例1、气动阀控制砂浆流量装置，砂浆搅拌桶8与砂浆主管道6连通，砂浆搅拌 桶8与砂浆副管道7连通；砂浆主管道6与砂浆第一支管道1、砂浆第二支管 道2、砂浆第三支管道3、砂浆第四支管道4、砂浆第五支管道5分别连通；其 中砂浆副管道7通过气动阀10与砂浆第一支管道1、砂浆第二支管道2、砂 浆第三支管道3、砂浆第四支管道4、砂浆第五支管道5分别连通；能感受进 线12和回线13信号的感应装置9安装在气动阀10侧面，感应装置9通过导 线与气动阀10连接。实施例2、气动阀控制砂浆流量装置，其中砂桨第一支管道1、砂浆第二支管道2 分别平行的分布在第一块硅锭ll外侧；砂浆第四支管道4、砂浆第五支管道5 分别平行的分布在第二块硅锭11外侧；砂浆第三支管道3平行的分布在第一 块硅锭11和第二块硅锭11之间。其余同实施例1。工作原理在新的进线12进行切割的过程中，砂浆主管道6以70L/min的流量供给 砂浆用于切割硅锭ll，砂浆副管道7关闭。当回线13切割时，感应装置9感 应到回线13的信号，并将感应到的信号反馈给气动阀10，气动阀IO开启，此 时，由砂浆主管道6以70L/min的流量供给砂浆用于切割同时砂桨副管道7以 10L/min的流量供给砂浆用于切割，故用于回线13时砂浆总流量为80L/min。 当再次进给新的进线12时，感应装置9感应到新的进线12的信号，并将感应 到的信号反馈给气动阀10，气动阀10关闭。以此循环，该新增装置可为切割 进新线和回旧线提供不同流量的砂浆，以达到切割硅片厚度的均匀性。砂浆第 一支管道l、砂浆第二支管道2、砂浆第三支管道3、砂浆第四支管道4、砂浆 第五支管道5都可以同时接受砂浆主管道6、砂浆副管道7输送过来的砂浆， 也可以关闭砂浆副管道7,只接受砂浆主管道6输送过来的砂浆。采用实施例2提供的硅锭11和各砂浆支管道的布局方式，再配合70L/min， 10L/min， 80L/min等参数可以达到最佳效果。如果增加硅锭11的数量，布局 发生变化，可能需要调整流量参数才能达到理想效果。改善后效果比较改善前，进线12和回线13时的砂浆流量一样，由于钢线的磨损，造成进 新线的磨削量要大于回旧线的磨削量。改善后，增大了回线13时的砂浆流量。保证了新进线12和回线13时的 磨削量一致。附图中的箭头方向代表了砂浆流动方向或者进线、回线的流动方向。权利要求1、气动阀控制砂浆流量装置，砂浆搅拌桶(8)与砂浆主管道(6)连通，砂浆搅拌桶(8)与砂浆副管道(7)连通；砂浆主管道(6)与砂浆第一支管道(1)、砂浆第二支管道(2)、砂浆第三支管道(3)、砂浆第四支管道(4)、砂浆第五支管道(5)分别连通；其特征在于砂浆副管道(7)通过气动阀(10)与砂浆第一支管道(1)、砂浆第二支管道(2)、砂浆第三支管道(3)、砂浆第四支管道(4)、砂浆第五支管道(5)分别连通；能感受进线(12)和回线(13)信号的感应装置(9)安装在气动阀(10)侧面，感应装置(9)通过导线与气动阀(10)连接；砂浆第一支管道(1)、砂浆第二支管道(2)分别平行的分布在第一块硅锭(11)外侧；砂浆第四支管道(4)、砂浆第五支管道(5)分别平行的分布在第二块硅锭(11)外侧；砂浆第三支管道(3)平行的分布在第一块硅锭(11)和第二块硅锭(11)之间。专利摘要本技术涉及一种晶体的切片过程中的砂浆流量控制装置，特别是一种气动阀控制砂浆流量装置。该气动阀控制砂浆流量装置结构如下砂浆搅拌桶与砂浆主管道连通，砂浆搅拌桶与砂浆副管道连通；砂浆主管道与砂浆第一支管道、砂浆第二支管道、砂浆第三支管道、砂浆第四支管道、砂浆第五支管道分别连通；其中砂浆副管道通过气动阀与砂浆第一支管道、砂浆第二支管道、砂浆第三支管道、砂浆第四支管道、砂浆第五支管道分别连通；能感受进线和回线信号的感应装置安装在气动阀侧面，感应装置通过导线与气动阀连接。本技术的优点感应装置和气动阀联合使用，可根据需要调整切割时的不同流量的砂浆，以达到切割硅片厚度的均匀性。文档编号B28D7/00GK201415449SQ20092018503公开日2010年3月3日 申请日期2009年5月18日 优先权日2009年5月18日专利技术者杰 杨 申请人:晶科能源有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
气动阀控制砂浆流量装置，砂浆搅拌桶（８）与砂浆主管道（６）连通，砂浆搅拌桶（８）与砂浆副管道（７）连通；砂浆主管道（６）与砂浆第一支管道（１）、砂浆第二支管道（２）、砂浆第三支管道（３）、砂浆第四支管道（４）、砂浆第五支管道（５）分别连通；其特征在于：砂浆副管道（７）通过气动阀（１０）与砂浆第一支管道（１）、砂浆第二支管道（２）、砂浆第三支管道（３）、砂浆第四支管道（４）、砂浆第五支管道（５）分别连通；能感受进线（１２）和回线（１３）信号的感应装置（９）安装在气动阀（１０）侧面，感应装置（９）通过导线与气动阀（１０）连接；砂浆第一支管道（１）、砂浆第二支管道（２）分别平行的分布在第一块硅锭（１１）外侧；砂浆第四支管道（４）、砂浆第五支管道（５）分别平行的分布在第二块硅锭（１１）外侧；砂浆第三支管道（３）平行的分布在第一块硅锭（１１）和第二块硅锭（１１）之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨杰，
申请(专利权)人：晶科能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36[中国|江西]