【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种砂浆分流装置,特别是一种半导体硅片切割专用设备 的辅助装置。
技术介绍
随着全球不可再生能源日趋紧张,太阳能加工业的迅猛发展,新材料、新 技术在太阳能制造行业内不断地涌现。为了提高效率,硅片加工设备已由效率 低下的内圆切片机发展为高效率的多线切割设备,砂浆供给量对切割效率有着 重要的影响,为了降低成本充分利用磨料,磨料的重复收取分离是很重要的一 个环节,既要供给系统又能方便排出,故所设计的砂浆分流装置应该很好的解 决这一问题,因为现有的半导体专用设备在使用流体供给时直接用电泵供给, 中间没有球阀等控制件,致使废液流体更换排出困难,尤其使用在新开发的多 线切割设备中,新旧砂浆更换频繁,旧砂浆要排出进行二次分离以提高砂粒利 用率,以便降低材料消耗,节约成本。,
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种能够解决供料和排料相互矛盾 问题的砂浆分流装置。解决上述问题所采用的技术方案如下本技术包括砂浆泵、供料管道和排料管道,砂桨泵的出料口与一三通 的一个接口间连接输送管道,三通的另两个接口分别与供料管道及排料管道相 接,供料管道和排料管道上各串接一个阀门。本技术所说供料管道上所设阀门与三通间的管道上设有快速接头。 本技术所说供料管道上所设阀门为1.5〃球阀,排料管道上所设阀门为r球阀,供料管道端部设有第一软管接头,排料管道端部设有第二软管接头。 本技术所提供的砂浆分流装置,其砂浆泵的输送管道上设有一三通分 别与供料管道及排料管道连通,并且在供料管道和排料管道上各设一手动阀门用来控制它们的通断状态,即当多线切割设备进行切割工作时,供料管道的阀 门 ...
【技术保护点】
一种砂浆分流装置,其特征是它包括砂浆泵(7)、供料管道(10)和排料管道(8),砂浆泵(7)的出料口与一三通(4)的一个接口间连接输送管道(9),三通(4)的另两个接口分别与供料管道(10)及排料管道(8)相接,供料管道(10)和排料管道(8)上各串接一个阀门(2、5)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:赵雷,柳滨,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十五研究所,
类型:实用新型
国别省市:13[中国|河北]
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