【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种埚杆，尤其是一种硅液泄漏后不损坏零件的埚杆。
技术介绍
目前，在现有单晶硅加工过程中，用到的化料设备就是单晶炉，单晶炉包括炉体、炉盖、坩埚、导流筒、埚杆。埚杆由杆体和托体组成，坩埚置于埚杆的托体上，埚杆杆体穿越炉底上的埚杆孔的下端部分上套装有波纹管，并与传动机构相连。 现有技术中，当发生漏硅事故时，硅液从坩埚流到埚杆的托体上，硅液通过托体的侧壁流到托体的下表面，再沿托体下表面流到杆体上，从而烫坏与杆体相连的波纹管或传动机构。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是提供一种在硅液泄漏时可防止损坏部件的埚杆。 为解决上述技术问题，本技术一种埚杆，埚杆由杆体和托体组成，在托体下表面自边缘到中心为凹形过渡。 作为本技术的改进，所述凹形的剖面轮廓线为直线和/或弧线。由于采用了上述技术方案，本技术所取得的技术进步在于 由于在托体下表面自边缘到中心为凹形过渡，且凹形的最高点在中心位置，当发生漏硅事故时， 一部分硅液不能沿托体底面流到埚杆的杆体，阻止了硅液沿杆体流入埚杆孔，从而避免烫坏大波纹管或传动机构。附图说明图1是原有埚杆的示意图； 图2是本技术埚杆的示意图。 其中1、杆体 2、托体具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步详细说明 由图2可知，本技术的一种埚杆，包括杆体1、托体2，在托体2下表面自边缘到中心为凹形过渡，所述凹形的剖面轮廓线为直线。当然，所述凹形的剖面轮廓线也可为弧线，也可为弧线和直线的组合，这都在本技术的保护范围。 工作时，当硅液发生漏硅事故时，硅液从坩埚流到埚杆的托体2上，因托体2的下底面由边缘到中心为凹形过渡，也就是托体2边缘部分比托体...
【技术保护点】
一种埚杆，埚杆由杆体（１）和托体（２）组成，其特征在于：在托体（２）下表面自边缘到中心为凹形过渡。
【技术特征摘要】
一种埚杆，埚杆由杆体(1)和托体(2)组成，其特征在于在托体(2)下表面自边缘到中心为凹形...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴立涛，崔鹏，张勇，赵飞，
申请(专利权)人：宁晋松宫电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：13[中国|河北]
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