单轴线性电动机、多轴线性电动机及元件移载装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及线性电动机，其包括磁体和电枢，通过在向电枢供电时在该电枢与磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使磁体和电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力。代表性的实施方式中，本发明专利技术的线性电动机包括：底板，移动方向设定在其底面上；可动部，沿该移动方向相对往返移动自如地安装在底板上。可动部上设置有构成磁体和电枢其中一者的动子。在底板的底面上设置有以在该底面的宽度方向上与动子相对的状态，沿移动方向构成磁体和电枢其中另一者的定子。底板的至少沿移动方向的外缘部分上设置有立壁，该立壁形成收纳空间，该收纳空间具有让定子、动子及可动部能够沿与底面正交的方向插拔的开口。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及单轴线性电动机、多轴线性电动机及元件移载装置，特别是涉及使可 动部相对于底板进行直线移动的单轴线性电动机、将多个该单轴线性电动机组合而成的多 轴线性电动机、以及使用这些线性电动机的元件移载装置。
技术介绍
例如，在搬送电子元件等元件的元件移载装置、用于制造半导体装置、液晶显示装 置等的制造装置等中，具备将用于吸附保持元件的吸嘴沿上下方向予以驱动的驱动机构， 线性电动机作为该驱动机构的构成要素而被采用。所述线性电动机的需求年年扩大，特别 是高性能的线性电动机的需求高。为了满足这样的需求，例如有适合于元件移载装置的线 性电动机的方案(例如参照专利文献1)。以往的线性电动机通常具有机室，该机室具有中空的长方体的形状，该长方体的 壁厚具备充分的机械强度，该机室内设置有多个具有空心孔的环状线圈。这些线圈以各空 心孔的中心轴沿长度方向的状态被层叠于机身，作为一个整体构成定子。另外，在机室的上 下表面上形成有比驱动用轴的直径稍大的通孔，以使驱动用轴可移动地进入。作为定子的 各线圈以各空心孔与所述通孔同心的状态相对于该通孔被定位。于是，由永磁铁构成的作 为动子的驱动用轴以与线圈同心地插入的状态插通在通孔以及线圈的空心孔中而被定位。然而，为了获得高性能的线性电动机，要求高精度地将驱动用轴(动子)与线圈 (定子)进行对位。另外，不仅在组装性方面而且在维护性方面也要求有所改善。专利文献1 日本专利公开公报特开2006-180645号(图5、图8)
技术实现思路
本专利技术的第1目的是提供组装性及维护性优异的高性能的线性电动机。本专利技术的别的目的是提供使用所述线性电动机的元件移载装置。本专利技术的单轴线性电动机，其包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电 枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状 的移动方向相对变位的力。该单轴线性电动机还包括底板，所述移动方向设定在其底面 上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，设置在所述可 动部上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以在所述底面的宽度方向上与所述动子 相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中 另一者；立壁，设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成 收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的 方向插拔的开口。在如此构成的单轴线性电动机中，由立壁与底面所围成的收纳空间以向与底面正 交的方向开口的状态形成，定子、动子及可动部均可以在该收纳空间中通过与底板相对的 短行程的插拔动作来进行组装、分解等。其结果，组装时，定子、动子等的定位容易进行，组装精度被提高。对此，以往的单轴线性电动机中，由于定子与动子是采用同心设置的结构，因此， 进行组装/分解作业之际，必须沿移动方向进行长行程的插拔动子的作业。这样的组装作 业决非简单的作业，因此在进行组装/分解作业时，难以维持高的组装精度。因此，维持通 孔、定子以及驱动用轴的校准(alignment)极为困难。另外，以往的技术中，在进行驱动用 轴与线圈的对位之前，必须进行机室与线圈的对位。即，为了使应设于机室上侧面以及下侧 面的多个通孔与机室内部应设置的多个线圈分别沿上下方向排成一列，必须在将通孔和线 圈相对于机室的位置高精度地进行定位的情况下，分别地将线圈设于机室内部，将通孔设 于机室的上侧面以及下侧面。此外，必须将驱动用轴在相对于机室予以定位的情况下插入 通孔以及线圈的空心孔中。这样，必须将线圈以及驱动用轴相对于机室予以对位来装入到 线性电动机内，这样的组装作业决非简单的作业，难以制造高性能的线性电动机。这样，以 往的技术中，为了高精度地维持通孔、定子以及驱动用轴的校准，在线性电动机的制造上必 须进行复杂作业，因此在组装性方面存在改善的余地。另外，本专利技术中，由于立壁被设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分 上，因此，将定子、动子及可动部予以收纳的收纳空间的开口，在移动方向及宽度方向上具 有宽度。因此，对收纳空间的访问极为容易。而且，组装时的目视变得容易，从而能够简单 地确认定子与动子的位置关系，因此，从这一点上也显著地提高了底板与定子的组装精度、 以及被组装的定子与可动部的动子的组装精度，能够高精度进行两者的对位，获得高性能 的单轴线性电动机。对此，以往的技术中，由于采用将驱动用轴插入被预先定位于通孔中的 线圈组的空心孔中的结构，因此，目视变得困难，维持通孔、定子以及驱动用轴的校准极为 困难。另外，本专利技术中，不仅在组装性方面而且在维护性方面均有大幅度改善。S卩，当对 单轴线性电动机实施保养、修理等维护作业时，由于可以将可动部与动子作为一个的单元 进行分解/组装，因此，可以减少分解、组装等的工时。对此，在以往技术所涉及的单轴线 性电动机中，必须在从机室中拔出驱动用轴后，进而将机室的上侧面或下侧面取下后，才能 从机室内的线圈组中选择地取出作为检查/交换对象的线圈，因此，不能一次地进行驱动 用轴的拔出作业和将机室的上侧面或下侧面取下的作业，因而费工时。而且，在检查/交换 后，必须进行与制造线性电动机时实质上相同的组装作业。因此，在维护性方面也不可避免 形成高成本。另外，本专利技术中，通过形成立壁来提高底板的刚性，而且将可动部、定子及动子全 部设置于收纳空间侧，因此，可以提高单轴线性电动机的强度。这样，立壁的形成不仅在强 度方面而且在防止来自外部的异物的侵入方面也有效。本专利技术的多轴线性电动机是将所述单轴线性电动机层叠而构成的多轴线性电动 机。本专利技术的元件移载装置是将所述单轴或多轴线性电动机作为头部组件的上下驱 动机构予以装备的元件移载装置。本专利技术所涉及的元件移载装置，由于将所述线性电动机用作上下驱动机构，因此 能够提高装置的组装性、维护性。另外，由于将高性能的线性电动机用作上下驱动机构，因 此，安装在吸嘴轴的先端部的吸嘴的高精度定位、高速移动等成为可能。本专利技术的其他结构、作用效果，通过以下的附图以及所说明的实施方式进一步得 以明确。附图说明图1是本专利技术一实施方式所涉及的单轴线性电动机的立体图。图2是沿图1中II _ II线的箭头方向剖视图。图3是表示图1的实施方式所涉及的电枢与动子的设置关系的图。图4是表示图1的实施方式所涉及的线性标尺与传感器的设置关系的图。图5是图1的实施方式所涉及的单轴线性电动机的分解立体图。图6是表示图1的实施方式所涉及的可动部件与动子的安装结构的立体图。图7是表示图1的实施方式所涉及的可动部件与动子的安装结构的图。图8是表示图1的实施方式所涉及的可动部件与动子的安装结构的局部切除侧视 图。图9是表示图1的实施方式所涉及的副齿与磁性板的设置关系的正视图。图10是本专利技术的别的实施方式所涉及的单轴线性电动机的分解立体图。图11是本专利技术的另一别的实施方式所涉及的多轴线性电动机的组装前的立体 图。图12是图11的多轴线性电动机的组装后的剖视图。图13是表示本专利技术的元件移载装置的一实施方式所涉及的表面安装机的概略结 构的俯视图。图14是图13的表面安装机所涉及的头部组件的正视图。图15是图13的表面安装机所涉及的头部组件的侧视图。图16是表示图13的表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单轴线性电动机，其特征在于：包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，该单轴线性电动机还包括：底板，所述移动方向设定在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，设置在所述可动部上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以在所述底面的宽度方向上与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者；立壁，设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2008-1-11 2008-004078一种单轴线性电动机，其特征在于包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，该单轴线性电动机还包括底板，所述移动方向设定在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，设置在所述可动部上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以在所述底面的宽度方向上与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者；立壁，设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口。2.根据权利要求1所述的单轴线性电动机，其特征在于所述立壁区划开放部，该开放部在所述收纳空间的所述移动方向上的一端开放，以容 许与所述可动部连接的被驱动体对应于往所述移动方向的所述可动部的驱动而在所述收 纳空间中的出入移动。3.根据权利要求1或2所述的单轴线性电动机，其特征在于所述可动部、所述定子及所述动子以处于收纳空间内的与所述底面正交的方向上的纵 深侧的状态，收纳在所述收纳空间中。4.根据权利要求1至3中任一项所述的单轴线性电动机，其特征在于还包括盖部件，安装于所述立壁的顶部，以覆盖所述收纳空间以及收纳于所述收纳空间中的 所述可动部、所述定子及所述动子的状态将所述开口予以闭合。5.一种多轴线性电动机，其特征在于是将多个权利要求3所述的单轴线性电动机沿与所述底面正交的层叠方向层叠设置 的多轴线性电动机，其中，位于所述层叠方向的下层侧的下层侧单轴线性电动机的收纳空间，被在该下层侧单轴 线性电动机的上层侧邻接的上层侧单轴线性电动机的所述底板的背面所覆盖。6.根据权利要求5所述的多轴线性电动机，其特征在于还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：花村直己，堺清敬，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]