超细氧化铈粉制备方法及包含其的ＣＭＰ研磨浆技术

本发明专利技术涉及一种调节铈前驱体的酸度并形成中间体硝酸铈氢氧化物（Ｃｅ（ＮＯ３）３.６Ｈ２Ｏ），而后制造氧化铈（ＣｅＯ２）的方法，具体涉及一种在氯化铈合成物上滴定氢氧化钠后，分别过滤成上清液（ｓｕｐｅｒｎａｔａｎｔ）与沉淀物（ｓｅｄｉｍｅｎｔ），并回收上述第一次沉淀物（ｓｅｄｉｍｅｎｔ）铈前驱体；滴定一定浓度的硝酸至上述铈前驱体的酸度达到ｐＨ４～４．５为止，并使用初期颗粒大小超细结晶化的硝酸铈氢氧化物制造氧化铈；根据铈前驱体的酸度调节，将初期颗粒超细化、均匀化的硝酸铈氢氧化物作为中间体进行制备，从而提供结晶性高及能够提高各种研磨功能的超细氧化铈粉、其制备方法及包含其的ＣＭＰ研磨浆。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种通过调节铈前驱体的酸度，形成中间体硝酸铈氢氧化物而制造氧 化铈粉的方法，具体涉及一种通过调节铈前驱体的酸度，并以初期颗粒大小变得超细结晶 化的硝酸铈氧化物为中间体制作而成，因此颗粒大小变得超细化、均勻化，各种研磨功能极 为提高的超细氧化铈粉制备方法及包含其的CMP研磨浆。
技术介绍
氧化铈粉是一种用于研磨剂、催化剂、荧光体等原料的高性能陶瓷(ceramic)粉 体，为了半导体基板的选择性抛光，最近广泛使用为化学机械研磨剂。这种氧化铈粉通常以 汽相法、固相法、及液相法制备。其中，制备氧化铈粉的汽相法是一种汽化铈金属盐前驱体，并与氧气相结合制备 而成的氧化铈制备方法，具体可以分为火焰燃烧分解法、气体冷凝分解法、等离子体分解 法、激光汽化法。但是，这种汽相法的弊端在于，铈金属盐前驱体的单价及设备费用过高，无 法大量生产氧化铈。制造氧化铈粉的固相法是一种以碳酸盐、硫酸盐、草酸盐等为原料，通过烧制工艺 制造氧化铈的制备方法。如国际公开专利号W01998-14987及W01999-31195中记载了氧化 铈研磨剂，其形成过程是在氧气气氛中将大颗粒碳酸铈粉烧制，并制造颗径为30本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超细氧化铈粉的制备方法，其特征在于，包括：滴定氢氧化钠直至氯化铈合成物达到ｐＨ９～１０，并分别过滤成第一次上清液和第一次沉淀物，而后回收上述第一次沉淀物铈前驱体的步骤；在上述铈前驱体滴定硝酸，滴定硝酸至铈前驱体的酸度达到ｐＨ４～４．５为止，而后形成硝酸铈氢氧化物（Ｃｅ（ＮＯ↓［３］）↓［３］.６Ｈ↓［２］Ｏ）的步骤；混合上述硝酸铈氢氧化物和碳酸前驱体水溶液，进行沉淀反应后分别过滤成第二次上清液和第二次沉淀物，而后回收上述第二次沉淀物的步骤；及在９００～１０００℃下烧制上述第二次沉淀物，并通过粉碎形成以粒径为１～２ｎｍ的结晶型颗粒形态形成的氧化铈粉步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】KR 2008-7-16 10-2008-0069155一种超细氧化铈粉的制备方法，其特征在于，包括滴定氢氧化钠直至氯化铈合成物达到pH9～10，并分别过滤成第一次上清液和第一次沉淀物，而后回收上述第一次沉淀物铈前驱体的步骤；在上述铈前驱体滴定硝酸，滴定硝酸至铈前驱体的酸度达到pH4～4.5为止，而后形成硝酸铈氢氧化物(Ce(NO3)3·6H2O)的步骤；混合上述硝酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：李承周，
申请(专利权)人：纽维尔，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]