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超细氧化铈粉制备方法及包含其的CMP研磨浆技术
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文档序号:4887150
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本发明涉及一种调节铈前驱体的酸度并形成中间体硝酸铈氢氧化物(Ce(NO3)3.6H2O),而后制造氧化铈(CeO2)的方法,具体涉及一种在氯化铈合成物上滴定氢氧化钠后,分别过滤成上清液(supernatant)与沉淀物(sediment),...
该专利属于纽维尔所有,仅供学习研究参考,未经过纽维尔授权不得商用。
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