一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于生长３００ｍｍ以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体。它包括炉壳、炉底、炉盖、坩埚、支撑棒、发热体和保温结构，保温结构由坩埚盖、上隔热屏、下隔热屏、多层保温筒、保温填料、耐火砖、金属筒组成，本实用新型专利技术采用鸟笼结构钨发热体，有利于提供均匀稳定的温场，并保证其内部温度场分布为底部温度高于上端温度，边缘温度高于中心温度，轴向和径向温度梯度小，符合冷心放肩微量提拉法对于温场分布的要求。本实用新型专利技术采用冷心放肩微量提拉法，具有温场分布均匀稳定、轴向和径向温度梯度都比较小，保温效果好等特点。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉的炉体结构，具体地说是一种用于采用冷心放肩微量提拉法 生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉的炉体结构。(二)
技术介绍
我国自2003年开始提出国家半导体照明工程计划以来，目前已初步形成LED产品的 规模化生产能力，但其重要的衬底材料一蓝宝石晶圆，尤其是大尺寸蓝宝石晶圆材料一直是 制约该产业发展的瓶颈，亟待突破。由于其具有性能稳定、市场需求量大及产品附加值高等 特点，光学级大尺寸蓝宝石材料同时也是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料，成为 近年国内外研究开发和产业化热点。高品质、低成本的蓝宝石单晶生长技术是世界各国关注的难点和重点之一。从目前的技 术水平来看，国际上能够产业化制造直径大于(D200以上高品质蓝宝石衬底材料的只有俄罗 斯Atlas和Monocrystal、美国Crystal System和Rubicon等四家公司，这几家公司在大尺寸蓝 宝石晶体的生长技术和生长设备制造等方面已经十分成熟，领先其它国家至少IO年以上。我国在大尺寸蓝宝石单晶的制备方面与国外有较大的差距，尤其在专用设备上，由于温 场设计不合理、保温效果差等问题，制备的晶体质量、成本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生长３００ｍｍ以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体，它包括炉壳、炉底、炉盖、坩埚、支撑棒、发热体和保温结构，坩埚通过支撑棒设置在炉底上，发热体设置在坩埚外围，其特征在于保温结构包括坩埚盖、上隔热屏、下隔热屏、多层保温筒、保温填料、耐火砖和金属筒，坩埚盖设置在坩埚上，上隔热屏设置在坩埚盖上，耐火砖设置在炉底，下隔热屏设置在发热体下方，多层保温筒设置在金属筒内，多层保温筒与金属筒之间设置有保温填料。

【技术特征摘要】
1、一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体，它包括炉壳、炉底、炉盖、坩埚、支撑棒、发热体和保温结构，坩埚通过支撑棒设置在炉底上，发热体设置在坩埚外围，其特征在于保温结构包括坩埚盖、上隔热屏、下隔热屏、多层保温筒、保温填料、耐火砖和金属筒，坩埚盖设置在坩埚上，上隔热屏设置在坩埚盖上，耐火砖设置在炉底，下隔热屏设置在发热体下方，多层保温筒设置在金属筒内，多层保温筒与金属筒之间设置有保温填料。2、 根据权利要求l所述的一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体，其特征在 于所述的炉壳、炉底和炉盖由2-10mm厚的不锈钢板制成，都采用中空结构，内部通冷却 水。3、 根据权利要求2所述的一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体，其特征在 于所述的坩埚由金属钨制成，外径330-450 mm，圆周壁厚5-15 mm，底部厚度20-45 mm。4、 根据权利要求3所述的一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体，其特征在 于所述的支撑棒由直径为50...

【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，宋波，王玉平，王天成，
申请(专利权)人：哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：93[]