一种运动解耦的XY向精密定位平台制造技术

一种运动解耦的ＸＹ向精密定位平台，平台由基座、第一、第二音圈直线电机、第一、第二连接法兰、第一、第二直线轴承组件、工作平台和支撑平台组件组成，第一、第二音圈直线电机以正交方式分别通过第一连接法兰、第一直线轴承组件和第二连接法兰、第二直线轴承组件与工作平台连接，第一音圈直线电机与第一连接法兰连接，第一连接法兰与第一直线轴承组件的第一轴承体连接，第一直线轴承组件的第一轴承座与工作平台连接，第二音圈直线电机与第二连接法兰连接，第二连接法兰与第二直线轴承组件的第二轴承体连接，第二直线轴承组件的第二轴承座与工作平台连接，工作平台由支撑平台组件支撑，支撑平台组件和第一、第二音圈直线电机在基座上。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种基于二自由度并联解耦机构的XY向平面运动定位平台，采用音圈直线电机直接驱动，适合于芯片封装、激光加工及光电检测等精密定位工程领域所需的高速、高加速和高精度定位的要求，属于传动机构领域。二
技术介绍
目前，在芯片封装、激光加工及光电检测等工业领域，随着对产品的使用性能、质量及制造周期等方面要求的提高，直接与生产效率和产品质量相关联的高速度、高加速度和高精度的运动控制系统的重要性也日益突出，这迫切需要能够在微米级、亚微米级，甚至在纳米级精度上进行定位及操作的系统和装备。这类系统和装备的显著特点是，其运动定位机构除了要求具有高速度、高加速度及高精度的定位性能之外，同时还要求其工作范围大、运动部件质量轻、高可靠性及低功耗等。比如在微电子制造的芯片封装中，随着科学技术的发展，IC封装的主流方向是轻、薄、短、小、高密度及细间距等，这对芯片封装装备的定位精度、速度和加速度提出了更高的要求。但是，设备定位精度与速度的提高是相互矛盾的。运动速度、加速度的提高，使得定位机构的惯性力增大,惯性力变化的频率也随之加大，系统易于产生弹性变形和振动现象，既破坏机构的运动精度，又影响构件的疲劳强度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种运动解耦的ＸＹ向精密定位平台，其特征在于平台由基座（Ａ）、第一音圈直线电机（Ｂ１）、第二音圈直线电机（Ｂ２）、第一连接法兰（Ｃ１）、第二连接法兰（Ｃ２）、第一直线轴承组件（Ｄ１）、第二直线轴承组件（Ｄ２）、工作平台（Ｅ）和支撑平台组件（Ｆ）组成，第一、第二音圈直线电机（Ｂ１、Ｂ２）以正交的方式分别通过第一连接法兰（Ｃ１）、第一直线轴承组件（Ｄ１）和第二连接法兰（Ｃ２）、第二直线轴承组件（Ｄ２）与工作平台（Ｅ）连接，所述的第一音圈直线电机（Ｂ１）与第一连接法兰（Ｃ１）连接，第一连接法兰（Ｃ１）与第一直线轴承组件（Ｄ１）中的第一轴承体（Ｄ１２）连接，第一直线轴承组件（Ｄ１）中的第一轴承座（Ｄ１...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张志胜，郑建勇，史金飞，陈芳，柳俊，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：84[中国|南京]